设备管理真空设备的维护和维修

真空设备的维护和修理§1维护局部机械真空泵的维护和保养

（1）泵及其四周环境应常常保持清洁

（2）泉在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心

（3）不同种类和牌号的真空泵油不行混合使用

（4）泵在使用中温升不能超过70℃

（5）泵在使用100h左右应换1〜2次油，待换下的油内不再觉察含黑色金属粉末后，可加长换油期限依据说明书规定和使用实际状况来确定换油期限

（6）泵和修理后的泵应现作运转试验4〜6h检杳泵是否符合使用要求

（7）泵使用较长时间以后（2〜3年不等），极限真空度下降，应进展一次检修同时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修

（8）泵在使用中，因系统损坏等特别事故，或进气口突然暴露大气时，应尽快停泵，并切断与系统连接的真空管（关低真空阀或夹真空夹），防止喷油，污染工作场地

（9）泵上全部机件，非确定必要，切勿自行拆卸

（10）泵不用时，，应用橡皮塞（帽）把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内

（11）常常留意真空技术进展动向，尽量及早地引入技术、材料（如泵油等），以改进原有系统的性能以上数点，可按具体状况，订出相应操作规程，严格施行整套设备的日常维护

（1）操作人员要生疏各种仪表、泵，设备的各局部阅读并理解各种说明书

（2）冷却水水压应保持

0.1~

0.2Mpa之间，山水温度W45°C

（3）压缩空气压力在

0.4〜

0.5Mpa之间

（4）每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充缺乏，更换气瓶

（5）开机后如有特别状况，应马上排解或停机查找缘由

（6）常常检查各局部的回水量，工作时应保证各局部有充分的冷却水

（7）设备停顿使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉

（8）机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持始终有油换油时肯定要把废油放干净

（9）集中泵换油时，内部如有氧化，要把集中泵内部的氧化层处理干净，然后再换上油

（10）充入的保护性气体，纯度不应小于

99.99机

（11）本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛

（12）设备外表及仪表外表要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭

（13）气动系统的气动三连件上的油水分别器要常常放水，油雾器内应注入真空集中泵油

（14）设备的整机电压要保证在350〜420V范围内三相要平衡

（15）规管、电接点压力表、热偶等处要常常涂上集中泵油，使之与座之间形成一层油膜，防止漏气以上各局部及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封

（16）各局部的螺栓定期检瓷，如觉察松动，准时拧紧

（17）设备工作时，留意观看各仪表的显示状况，及各泵的声音，以便准时觉察特别，找出问题18设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10〜40℃在拆修设备时，各局部不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤19设备在工作时，操作人员不得长时间离岗§2修理局部真空设备修理的要点修理真空设备的要点是推断故障往往是真空抽不上去，缘由可能有几个，肯定要搞清楚是什么缘由，或许真空机器的抽气力量不够，也可能是漏率偏高，又或者两种可能都有这时，应当急躁观看和记录，从中找出故障比方，抽空时间一样，而真空度偏低，这时候关闭主阀，如真空计指针很快下降，多数状况是真空室漏了，这时候应先查出漏点如真空计指针下降很慢，多数状况是真空机组抽气力量不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上来，看是哪里消灭了泄漏，或是集中泵油污染了，氧化了；或是前级管路密封不好，泵油缺乏；或是泵油乳化，轴封漏油等故障

一、检测漏率用户最头疼的问题就是检测漏率漏一一分内漏和外漏，外漏比较好检测，内漏则难办些较大的漏点可以用火焰法，利用气流能使火焰偏离的原理，先抽上真空，比方用蜡烛或打火机在可疑点四周逐步查寻，会觉察火苗向漏点偏移，则可找到漏点漏和微漏的查找小漏和微漏就比较难查了，大家常用的方法是利用在高真空状态下电离管对某些气体反响敏感来检漏，比方丙酮或乙醇，用医用注射器向可疑的地方喷射丙酮或乙醇，喷到漏点时.，电离计的指针会有明显摇摆用这种方法检漏肯定要有急躁，肯定要等到电离计的示值稳定了——也就是真空机组的抽气力量和漏率平衡了，然后再喷射最好是反好几次，确认漏点漏和外漏的查找内漏多发生在有水冷套的设备上，查外漏没有觉察疑点，但是却有以下现象机械泵的抽速明显偏低、真空计示值低、机械泵油很快乳化、真空室内的铁基零部件明显锈蚀具备以上条件根本可以确定有内漏例有一台25kg中频炉，配有2X-70旋片泵和两台ZJ一150罗茨泵加到一起抽也只抽到10PaZJ-150泵的作用显现不出来，没觉察有外漏却具备了机械泵油很快乳化，真空室内铁基件明显锈蚀的条件，解体设备清理干净后用通冷却水的方法查出是炉盖漏水，剩下就是查出漏点先把内壁清理干净，再通冷却水，看有无潮湿点潮湿处就是漏点

二、故障点的处理:找出故障点就可以因地制宜地进展处理了，简洁的方法就是换件，小到胶圈，螺栓；大到阀门，真空泵，只要手头上有的都可以换对于需要焊接的部位应按要求来进展，焊接后还需确认是否到达了要求

三、修理时要留意的环节修理应留意几个环节即拆卸、清洁、检验及装配真空设备无论大小都属于周密机械设备，这点很重要拆卸应遵循轻拿轻放的原则，不能蛮干，肯定不能用大锤去敲清洗零件时要干净，彻底，以便于觉察问题和查出除患真空泵类产品与一般机械产品有较大区分，一般机械产品多倒楞倒角，而真空泵的楞角清楚，很易伤手应多加留神，切记千万别把楞角倒去检验是个细致活，每个细节都不要落掉，任何微小的地方都可能是问题所在，所以不能存在幸运心理不管是用汽油还是其他溶剂清洗的真空泵件，肯定要等到汽油或溶剂彻底挥发了才能进展装配真空泵油假设与其他的油或溶剂或水混合会破坏其性能，影响真空泵的性能指标胶圈要擦干净，认真检查有无缺陷和裂纹，尺寸是否正确，尺寸不对将影响密封但凡有加热位置的胶圈，每次拆卸清洗时必需换，比方油增压泵各个接口，装配时泵件同样需要轻拿轻放；紧螺丝时用力要均，要从对角紧起动密封多用轴封，上轴封时要细心，先检查轴封本身有无缺陷，密封面是否平坦，轴封簧弹性如何，在轴封内侧可薄薄地涂上一层真空脂，上轴封时用力要均，骨架轴封不要压偏了，偏了就会漏油、漏气，轴封簧别挤进去，没了轴封簧轴封就失效了留意轴封与轴的同心度，有的泵是用对轮连接的，对轮的同轴性要求很严格，装配时要从轴的四周去量，保证平行全都.罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个8型齿轮不相碰集中泵的内壁和喷射塔清洗干净后最好用电力纺擦干由于国内生产的集中泵主要靠电炉丝的长短来掌握泵油的温度，集中泵油的注入量就需要考虑当地电网的实际状况来酌量增减泵的口径大小不一样注油量也有差异，电网的电压低油可以削减2mm只要是干净的钢板尺或铁丝都可以用来测量由于制造和使用上的差异，集中泵注油量仅供参考修理切记不行操之过急，故障没搞清楚就想固然的开头动手拆卸，旧病未除又添病，把简洁的问题简单化了、几种状况下处理方式:

2.

2.1应急处理

（1）高温时断水、断电.真空设备最怕的就是高温时断水、断电因此用户最好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管设备在高温时断水、断电，此时，泵、阀门均应处于关闭状态，操作人员应马上接通备用水或自来水，对设备进展水冷，如不能很快来电，还应翻开充放气系统的手动充气阀，对设备进展充气保护，充气压力为-

0.02MPa左右然后，把掌握柜上的全部按钮关至“关”的位置同时用湿毛巾搭在电极引出接口处，定期更换，以免电极接口过热，造成密封圈损坏

（2）更换充气气瓶.设备所用充气气瓶需更换时;拆抻稳压阀，换上一瓶气，肯定要留意安装时不许漏气在换上气瓶后，在工件没加热前，应在抽空过程中对炉内充气，以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出，使充气管路保持清洁

（3）正常工作时，觉察设备突然漏气，如马上能找到泄露点，须用真空封泥把泄露点封住，待工作完毕后，再做处理如不能确定泄露处，则应马上停顿工作，然后检修

（4）设备工作一段时间，一般50到70炉次，需清理清扫，把粉尘清出炉外，然后空炉工作一次工作的方式是先抽空为真空度高于10-2Pa时加热，加热温度一般高于正常使用温度的20℃o在最高炉温时保温一个小时以上，然后自然冷却这样使设备内部空间保持清洁

2.

2.2机械泵的常见故障及修理

2.3罗茨泵的常见故障罗茨泵是一种旋转式变容真空泵其极限真空度可达5X10-2Pa乂称机械增加泵其工作原理是通过二个“8”字形的转子旋转，通过容枳的转变来实现抽气和排气其工作原理与罗茨鼓风机相像修理保养应常常保持泵房环境清洁枯燥应常常留意各局部润滑油的状况，如觉察缺乏时，应准时补充如觉察不清洁时，应准时更换，并留意螺塞重旋进去时应保证密封泵工作压差应掌握在旁通阀允许的压差范围内，否则易烧坏电机在拆修时各部件不能用重锤敲打拆下的零件避开碰伤、擦毛特别要留意密封面的平坦光滑，否则会引起再装配后漏气现象，泵不能恢复原有性能拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙醛清洗，枯燥后才能装配装配时要留意转子两端与左右侧盖的间隙，转子与转子，转子与泵体的间隙按规定要求调整泵体左右侧盖之间之结合面均承受107树脂（即室温硫化硅橡胶）密封装配前必需留意螺旋套方向，主动轴上靠近电机一侧为左旋齿轮箱一侧为右旋，从动轴上则相反

2.4油集中泵故障处理

（1）集中泵工作过程中冷却水必需保证畅通，停顿加热后必需保证泵工作液已完全冷却前方可关闭冷却水泵停顿工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化被抽气体应是枯燥、无腐蚀、无灰尘的气体泵如临时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套内的剩水吹净保存场地的室温应在10℃〜40℃之间泵在正常运行时如突然消灭性能变坏，应先检查加热器是否正常泵在长期工作后，性能会渐渐变坏，应定期检修a.泵油是否削减或氧化，按相应要求加油或更换处理b.零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醛或丙酮进展擦洗，并置于80℃〜10（）℃温度下烘干或用电吹风吹干c.处理完后，按挨次进展装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好

2.

2.5整套设备的故障处理故障现象产生缘由消退方法1）不能到达所要求的极限真空度.进气管路及连接处漏气

1.排解漏气因素或临时用真空封泥封堵

2.所抽吸气体温度过高

2.在进气管路上加装冷凝装置，降低讲气温意

3.油量缺乏或油质不对3增加的机械泵用的直空油

4.直空油口污布L

4.中换的直空油.

5.油温太低

5.在严寒季节，室温太低影响油温度，等泵运转半小时后，方能讲人正常状况6事揄的排片艇自二

7.进气管路连接处橡胶垫圈损坏一

7.更换的橡胶密封垫圈

8.所抽吸气体中含有可凝性蒸气

8.须用气镇装置或加装蒸汽捕集装置

9.机件损坏

9.使用年久，由于零件磨损，不能保持原来间隙影响正常工作和真空度，须进展修理或更

10.选用真空计不对

10.应按标准选用压缩式真空计以测得的分压强为准，或以电真空计测得全压强作参考2）油温过高

1.有杂物或铁屑吸入泵体

1.将泵拆开检查修理，取出杂物“

2.吸入气体温度过高

2.进口管路上，装冷却装置

3.冷却水温度过高或水量不足

3.降低冷却水温度或增加冷却水流量3）真空泵漏油

1.泵油、轴封损坏

1.换的轴封

2.油箱螺钉松动或垫片损坏

2.换的垫片拧紧螺钉4）泵运转不正常

1.泵润滑不良

1.检查清理润滑系统

2.三角带太松或太紧

2.调整三角带的紧度

3.泵体内有污物或磨损零件碎粒

3.将泵拆开检查排解之故障故障缘由实行措施真空度达不到要求被抽容器或连接收路漏气消退被抽容器或连接收路漏气本泵油封损坏漏气（油杯中的油漏进泵内）更换油封本泵各部螺丝松动扳紧松动的螺丝声音特别轴承疲乏损坏更换轴承转子间隙发生变化拆下齿轮经清洗后重装上并调整转子之间间隙联轴器疲乏损坏更换联轴器齿轮疲乏损坏更换齿轮电机烧毁泵腔内落入较大异物排解异物溢流阀锈死拆开溢流阀清洗后重装回故障现象缘由处理方法

1.粗抽阀无法开启

1.压缩空气压力是否够

1.要求到达

0.4〜

0.6Mpa

2.粗抽阀的电磁换向阀不工作

2.参照故障

33.高真空阀上的行程开关未压紧

3.调整行程开关与上面盖板的位置适宜

2.电磁换向阀不工作

1.接通电无吸合动作

1.线圈损坏，更换线圈或更换全电磁阀

2.工作环境温度低

2.室温高于+5℃

3.阀体有堵塞

3.通过手动一电动检查清洗阀体，然后注入泵油

4.气源气压缺乏

4.到达

0.4〜

0.6Mpa

3.前级阀无法开启

1.气压缺乏

1.参照故障

32.电磁换向阀工作

2.参照故障

34.高真空阀无法开启

1.粗抽阀上行程开关未压紧

1.调整行程开关与上盖板位置适宜

2.气源压力缺乏

2.到达

0.4~

0.6Mpa

3.电磁换向阀

3.参照故障

34.真空度不够（没到达真空计设定一上限

4.复合真空计（工作时）设定不小于5Pa

5.前级阀未开

5.在肯定条件开启前级阀

5.罗茨泵不启动

1.真空电接点压力表未接触上

1.抽真空，使大圆表黑针到左边终点

2.延时时间未到

2.等待

3.空气开关未合上

3.检杳无问题，合上开关

6.集中泵不工作

1.加热时间不够

1.KT—400泵1小时；KT—600泵80分钟2油污染

2.换集中泵油（大连3号）

3.真空粗抽不够高

3.真空度在5Pa以上.

4.冷却水不畅通

4.清洗泵冷却水路

5.油曷不适

5.油少加油，油多放捶•些

7.充气系统不工作

1.粗抽阀、高真空阀上的行程开关未压紧L调整行程开关和上面盖板的位置适宜

2.电磁充气阀不动作

2.线圈断路，更换线圈或者换由磁阀

8.风机不启动

1.由格占压力表来榕鲍卜

1.等齐气压力钊士-

0.02Mpa

2.粗抽阀，高真空阀的行

2.调整行程开关和上面盖板的得皆活宣空与并英去今卜a抬杏干间服金卜开¥4电机损坏4修理或更雄鬼机

9.加热电流格外不平衡

1.加热电压接近额定值，电流为零，加热带断

1.用铝丝连接或者更换

2.加热带同壁连接

2.用陶瓷件隔断，垫起

3.互感器坏，有电压，无电流

3.更换互感器

4.电流表，电压表坏

4.更换表。