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洁净室静电防护洁净室是一个超洁净环境,它是通过控制风量、过滤、湿度、温度、气压、电离以及室内材料和其它参数而得到的,在电子制造业,由于静电的原因,它会减少产品的忧率,不利于企业的成本维护.控制洁净室的ESD应从多方面进行考虑.通常,一个完整的ESD控制程序应包括:人衣服鞋离子风机湿度控制地板作业台面包装,对任何人来说,只针对某一部分进行静电控制,是不现实的.洁净室胡具体防静电措施如下建立标准的接地系统.♦人员的静电防护(工作在洁净室内的人是最大胡静电源)♦1洁净室内操作人员须穿戴防静电洁净服防静电手套和手腕带2操作人员须进行有关在静电敏感器件周围的行为控制的培训洁净室围护结构的防静电,围护结构包括墙、壁、门窗、天花板、地面..使用高导电率材料♦生产和操作区域采用防静电地面.♦
①地面面层具有导电性能,并保持长时间性能稳定
②表层采用静电耗散材料
③采取铺设接地网等静电泄放措施湿度水平应得到控制,相对湿度应控制在4070%较合适♦〜生产区域送风管道内送风管口安装离子风机♦工作台、坐椅、推车、存放架、周转箱、工具等的材料都要求具备防静电功能♦用以包装静电敏感器件的胶袋须具有防静电功能♦元器件、半成品、产品的转运过程要求符合防静电要求♦可能产生的防静电危害的设备流动液体(气体)管道应采取防静电接地措施♦减少摩擦作业,以减少静电的发生♦定期对防静电系统进行检测和日常审核♦。
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