JEDEC JESD22-A109 测试方法 密封性

测试方法密封性al09（摘自董事会投票，在封装器件可靠性测试方法小组委员会的认可下制定）JEDEC JCB-01-01,JC-

14.1范围1本试验的目的是确定密封固态器件的密封效果密封试验被认为是非破坏性的它们旨在用于筛选，批量验收，产品监控或适用的合格测试100%密封试验也可作为其他环境耐久性试验的终点术语和定义2测量泄漏率:测量泄漏率的定义是在规定条件下使用规定的测试介质测量给定包装的泄漏率测量泄漏率应以大气立方厘米每秒（）为单位表示atm-cc/s设备3试验条件氮细泄漏试验

3.1A-所需的设备应包括适当的压力室和真空室以及质谱仪式检漏仪，该检漏仪预先预置并经过适当校准，以使氨气泄漏率灵敏度能够读取及以上的测量氧气泄漏率用于泄漏测量的室的体10-9atm-cc/s He积应保持在最小的实际，因为该室的体积对灵敏度限值有不利影响检漏指示器应在每班工作期间使用扩散型校准标准泄漏至少校准一次全氟碳蒸汽检测总泄漏

4.4的过程

4.

4.1设备应放置在真空/压力室中，压力降至托，并保持至少分钟应允许足够数量的检测流体进入530压力室以覆盖设备流体应在最小真空时间分钟之后进入，但在打破真空之前然后将设备加30压至最低压力应保持至少分钟如果设备不能承受的最低测试压力，则可将压力降至75psig3075psig的最低测试压力，并保持压力至少小时如果设备不能承受的测试压力，则可以将30psig

2.530psig压力降至最低并保持最低小时在加压期结束后，应释放压力，将设备从压力室中取15psig,

12.5出，而不能从检测器液浴中取出超过秒，然后将其保留在氟碳液浴中当装置从流体中取出时;20在测试周期开始前，应将其风干至少秒，最多分钟然后用按（）和（）校准的全氟

2052.

442.45碳蒸气检测器对器件进行测试“吹扫”时间应符合表测试时间应至少为秒，除非设备在

23.5之前被拒绝，氟碳蒸气检测器的吹扫室温度为测试室温度为或者在吹扫室125+/-15℃,125+/-5℃,温度为测试室温度为时，测试时间至少为秒150+0/-25℃,150+/-5℃

2.5注:在所有情况下，每个设备的风干、吹扫和测试限制都应遵守，包括棒对棒处理失效准则

4.

4.2如果检测器仪表指示超过则该装置应被拒绝200,表.吹扫时间2内部自由容积包装最大吹扫时间（秒）（CC）0-

0.

01590.1013说明最大吹扫时间可以通过循环使用带有至英寸孔的设备来确定，并测量在不允许设备逃

0.

020.05脱检测的情况下可以使用的最大吹扫时间预防措施

4.

4.3进行全氟化碳总泄漏试验时，应遵守下列注意事项:使用前，全氟碳应通过能够去除大于微米颗1粒的过滤系统进行过滤允许进行大量过滤和储存在使用过程中积累了可观察到的大量颗粒物的液体，应丢弃或通过过滤回收再利用应当采取预防措施，防止污染总结5以下细节应在适用的采购文件中规定）除本合同规定的接受或拒绝泄漏率外，对试验条件接受或拒绝泄漏率（见）a B

4.

2.4o）细和粗的性能顺序，如果细之后是粗（见第条））设备封装压力等级，如果该等级小于b3c60psigo）样本量和质量水平d试验方法（对试验方法的修订）A109-a A109仪器（附）3试验条件.放射性同位素细泄漏试验

3.2B用于该试验的设备应包括）放射性示踪气体激活控制台1由闪烁晶体、光电倍增管、前置放大器、速率计和氟标准品组成的计数设备计数站应具有足够-85的灵敏度，以确定设备内存在的任何氟示踪气体的辐射水平计数站应具有与氮泄漏率-85-85相对应的最低灵敏度，并应使用氟参考标准并按照设备制造商的说明，至少在10-9a tm-cc/s-85每个工作班校准一次）由氯和干氮混合而成的示踪气体氟在干氮中的浓度不得低于每大气立方厘米微居里3-85-85100该值应至少每月测定一次试验条件.全氟碳气泡总泄漏

3.3C用于该试验的设备应包括）真空/压力室，用于对设备进行高达的疏散和随后的压力轰炸，持续小时175psig10）一个合适的观察容器，其规定将指示液保持在的温度，并具有能够从流体中去除尺寸大于2125℃微米的颗粒的过滤系统1）放大率在倍至倍之间的放大镜，用于观察浸入指示液时从设备发出的气泡3330）全氟化碳检测液的来源，以及全氟化碳指示液4）能够在空气中产生至少英尺蜡烛的光源，其距离等于浴池中最远的设备与光源的距离光515000源不需要校准，但应验证观察点（即在观察气泡时被测设备所在的位置）的光照水平）合适的校准仪器，以表明测试温度、压力和时间符合规定6）在指示液中固定装置的合适夹具7器械（附）3试验条件全氟碳蒸汽检测总泄漏试验设备应包括:

3.4D-）真空/压力室，用于对设备进行高达的疏散和随后的压力轰炸，最长可达小时175psig

12.5）全氟碳检测液的来源2）合适的校准仪器，以表明测试温度，压力和时间是指定的3）全氟碳蒸气检测系统，能够检测相当于全氟碳的蒸气量

40.28mg）蒸汽探测器的校准源根据制造商的说明，每个工作班至少校准一次蒸汽检测器5细泄漏试验和粗泄漏试验应按规定试验条件的要求和程序进行试验顺序为细泄漏，其次为粗泄漏如果指定的炸弹压力超过设备封装能力，则可以使用替代压力，暴露时间和停留时间条件，前提是它们满足所适用的泄漏率，压力，时间关系，并且在任何情况下都施加不低于的炸弹压力30psia试验条件氨气细泄漏

4.1A-试验条件、

4.

1.1Al A2试验条件是一种“固定”方法，按表规定条件，将确保检测所需测量泄漏率（）所需的试验A11Ri灵敏度，试验条件是一种“灵活”方法，允许根据公式的试验条件方差，在预定泄漏率（）下A2R检测指定的等效标准泄漏率（）L试验条件和.适用于“固定”和“灵活”方法的程序A1A2完成的装置应放置在密封的腔室中，然后用氯气的示踪气体按规定的时间和压力对其加压100+0/-5%然后释放压力，将每个样品转移到另一个与疏散系统和质谱型检漏仪相连的室中当真空室被抽离时，任何先前强行进入样品的示踪气体都将被抽出，并由检漏仪显示为测量的泄漏率）（从（Ri加压中移出进行泄漏测试的设备数量应限制在最后一个设备的测试可以在测试条件的分钟内A160完成，或在测试条件的选定停留时间值内完成）A22t试验条件（附）

4.

1.2A1,A2试验条件固定方法A1-设备应使用表中对被测封装的内部腔体积规定的适当条件进行测试该时间为承受压力的时间，1该时间为释放压力后允许的最大时间，然后应读取该设备如果采购文件中给出的最大等效标准2泄漏率限值小于本文规定的灵活方法的限值，则不应使用固定方法表•试验条件的固定条件1A1的体积包（CC）炸弹条件Ri拒绝限制压力曝光时间最大停留时atm-cc/spsia（h）间（）Heh＜

0.0575215X10至＜754+

0.2/-05X

100.

050.51至＜452+

0.2/-0IX

100.

51.01到＜455+

0.5/-05X

101.

010.01至＜4510+

1.0/-05X

1010.

020.01试验条件.灵活的方法A2应选择弹压暴露时间和停留时间的值，使被测设备（如果有缺陷）获得的实际测量示踪气体泄漏率（）读数大于质谱仪的最小检测灵敏度设备应承受至少个大气压的绝对氢气压力如臬选定Ri2的停留时间）大于分钟，贝应绘制曲线图以确定该应确保后选定的总泄漏测60U Rvalue,Ri value试条件重叠所选值，结合待测器件封装的内部容积值和最大等效标准泄漏率（L）限值（如下所示或适用采购文件中规定），应使用以下公式计算测量泄漏率（限值R地点=示踪气体通过泄漏量测得的泄漏率（）单位为（）=以（空气）为单位Ri He,atm-cc/s HeL atm-cc/s的等效标准泄漏率=暴露在大气中的绝对压力PcP=以绝对大气压为单位的大气压力

（1）=空气中的分子量，单位为克（）MA

28.7示踪气体的分子量（）单位为克M=He,（）=暴露于的时间，单位为秒4tl Pe释放压力到检测泄漏之间的停留时间，单位为秒丫=器件封装腔体内部自由体积，单位为立方t2=厘米试验条件附A1,A2故障标准

4.

1.L4除非另有规定，如果等效标准泄漏率超过空气,则内腔容积为或更小的L5x10-8a tm-cc/s

0.01cc器件应被拒绝如果等效标准泄漏率超过空气，则内腔容积大于且等于L1x10〃atm-cc/s

0.01cc或小于的器件应被拒绝

0.5cc试验条件•放射性同位素精细泄漏试验

4.2B激活参数

4.

2.1活化压力和浸泡时间按下式确定:RQS=*sKTP地点:待测设备允许的最大计算泄漏率，单位为QS=atm-cc/s Kr=如果设备泄漏率完全等于激活后每分钟高于环境背景的次数这是计数设备和组件的背景QS,以上的拒绝计数，如果它已经通过了事先的放射性泄漏测试=活化系统中氮示踪气体的比活度，单位为每大气立方厘米微居里-85=闪烁晶体的总计数效率，单位为氟在被评估的特定组分内部空隙中的每微居里每分钟计数-85数这一因素取决于闪烁晶体的组件配置和尺寸计数效率应按照确定422其中为活化压力的绝对大气压，为设备原始内部压力的绝对大气压活化压力PiS PiSiPPe2-Pi2,e可以根据规范确定，或者如果已经确定了方便的浸泡时间则可以调整活化压力以T,Pc c满足式1=换算系数，每小时秒3600注式1的完整版本在分了中包含•个因了它是海平面以上海拔的校正因了PiSo在试验站的实际压力与海平面压力之[PO

2.AP]2,间以大气压表示的海平面压力为了本试验方法的目的，这个因素被去掉了试验方法（对试验方A109-a法的修订）A109试验条件放射性同位素精细泄漏试验（附）

4.2B-计数效率（）的测定

4.

2.2k式（）的计数效率（）应按下式确定:1k）将待测装置类型的个代表性单位制成表格，用已知体积和已知氮示踪气体比活度的表格回15-85填装置内部空隙，并将表格密封）每分钟的计数应直接在读取装置的计数站的屏蔽闪烁晶体中读取从这个数值出发，计算计数效2率，以每微居里每分钟的计数数为单位表面吸附的评价

4.

2.3所有由玻璃、金属和陶瓷或其组合组成的装置封装，包括涂层和外部密封剂，在确定泄漏测试参数之前，应评估氟的表面吸附可疑材料的代表性样品应按照中规定的为设备配置建立的预定压力-85和时间条件进行测试然后每分钟对样品进行计数，并记录计数率，直到计数率随时间渐近（这10是表面吸附不再成为问题的时间点）这个时间间隔应被记录下来,并确定中规定的“等待时间”424过程

4.

2.4设备应放置在放射性示踪气体活化罐中活化室可部分填充惰性物质，以减少泵送时间罐内的真空度应达到托设备应承受氟/干氮混合物至少个大气压的绝对压力至少分钟实际压力和

0.5-85212密封时间应根据确定每分钟计数的值应不低于背景以上氟-/干氮气混合物应抽真空贮421R60085存，直至活化罐中存在托尔真空这一疏散应在最多分钟内完成激活罐应回填空气（洗气）

0.53设备应从活化罐中取出，并在气体暴露后小时内用配备闪烁晶体的计数站进行泄漏测试不符合要1求的器件封装可以在没有“等待时间”的情况下进行测试从加压中取出进行泄漏试验的装置数量应加以限制，使最后一个装置的试验能在小时内完成元件的实际泄漏率应按下列公式计算1（实际读数为每分钟计薮）•QSR Q=地点:问=实际泄漏率，单位为和定义见atm-cc/s,QS R421试验条件放射性同位素精细泄漏试验（附）

4.2B-失效准则除非另有规定，泄漏率等于或大于义（计算）的设备应被认为是故障

510.8atm-cc/s Q人员注意事项426联邦、一些州和地方政府规定，拥有和使用氯泄漏测试设备需要许可证在使用放射性气体时，-85应遵守这些规定及其法律规定的最大允许暴露和容忍水平试验条件全氟化碳气泡总泄漏

4.3C-过程

4.

3.1设备应放置在真空/压力室中，压力降至托，并保持至少分钟，但对于内部容积＞的设D530O.1CC备，可以省略此真空循环）应允许足够量的检测流体覆盖设备当进行真空循环时，流体应在一小时周期后进入，但在打破2真空之前）然后应将压力增加到持续时间至少为小时对于内腔容积小于的设备，可360+15/-0psig,

20.05cc接受的替代条件是压力为持续至少小时对于内腔容积＞的器件，如果封装不75+5/-0psig,

10.1cc能承受则压力应降至（如果忽略真空循环，则压力应降至）60+15/-0psig,30+15/-0psig45+5/-0psig并保持至少小时的持续时间10持续时间（小时）评论压力psia psig

1530.N/A注

130.

4523.5注

24560860754759029010511051200.5注注适用于不能承受且需要预处理的模块对于不能承受且不需要预处理的模块1260psig60psig）在此时间结束时，应释放压力，将装置从压力室中取出，并持续浸入检测器液浴中当装置从浴4槽中取出时，应在浸入指示液之前在空气中干燥分钟，保持在2+/-1125°C+/・5°C试验条件全氟化碳气泡总泄漏（受控）

4.3C-程序（附）

4.

3.1）装置的最上端浸没在指示液表面以下至少英寸的深度，每次一个，或以这样一种配置，即可52以清楚地观察到来自一组被观察装置中的单个气泡的发生和来源）该装置应在光源照射下，通过放大镜在暗淡、无反射的黑色背景下观察，从浸入的那一刻起，6直到秒的最小观察时间结束，除非之前被拒绝30失效标准

4.

3.2一个确定的气泡流或两个或两个以上来自同一点的大气泡应是不合格的原因的预防措施

4.

3.3进行全氟碳总泄漏试验时应注意以下事项）全氟碳化合物在使用前应通过能够去除大于微米颗粒的过滤系统进行过滤允许进行批量过11滤和储存液体在使用过程中积累了可观察到的大量颗粒物，应丢弃或过滤回收再利用应当采取预防措施，防止污染）观察容器应装满，以确保设备的覆盖范围至少为英寸22）待测设备表面应无异物，包括保形涂层和任何可能导致错误测试结果的标记3）能够在空气中产生至少英尺蜡烛的光源，其距离等于浴池中最远的设备与光源的距离光415,000源不需要校准，但应验证观察点（即在观察气泡时被测设备所在的位置）的光照水平）测试大包装时，应采取预防措施，防止因包装破裂或弹液剧烈演化而伤及操作人员5。