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微电子洁净室解决方案光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位光学微电子净化工程一般包括
1、洁净生产区
2、洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
3、管理区(包括办公、值班、管理和休息等)
4、设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)光学微电子净化工程净化原理气流-初效净化-空调-中效净化一风机送风-管道-高效净化风口一吹入房间一带走尘埃细菌等颗粒一回风百叶窗-初效净化重复以上过程,即可达到净化目的光学微电子净化工程净化参数换气次数100000级215次;10000级220次;100030次压差主车间对相邻房间5Pa平均风速10级、100级
0.3-
0.5m/s;温度冬季16℃;夏季26℃;波动±2℃温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电噪声W65dB A;新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LXo光学微电子净化工程结构材料
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造
2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型
3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板
4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁光学微电子净化工程解决方案净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案
1、组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口这是一个最传统的净化空调系统的设计方案组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等其冷源由冷水机组提供优点A.空气处理效果好,因空气经过集中处理,在送风过程中被污染程度较低送风的温度、湿度的控制比较精确;B.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;C.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;D.维修频率较低;E.车间的噪音低缺点A.需要有配套的冷冻机房或有放置热泵机组的室外空间另需要有放置组合式空气处理机组的空调机房,如25000m3/h的组合式空气处理机组,常用外形尺寸为6450x1850x2250mm左右对于旧厂房改造项目来说比较困难空出一个20-30m的机房的;B.造价高特点A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担;。
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