微细切削是为满足微小型结构件的加工需求

微细切削是为充足微小型结构件的加工需求1引言微细切削是为充足微小型结构件的加工需求，在传统切削基础上进展起来的一种微制造技术，在微型注塑模具、光学元件、集成电路、计算机外设等多个领域具有广阔的应用前景微细切削的基本原理是在精密（或超精密）切削机床上，利用微细切削刀具去除工件上的多余材料，使之成为在形状、精度和表面质量等方面符合要求的微小型精密零件微细切削技术的进展倚靠于微细切削刀具技术的支撑本文结合微细切削的特征，分析了微细切削对于切削刀具的基本要求，重点介绍了适用于微细切削的刀具材料、刀具设计要点和典型的刀具制备工艺2微细切削刀具的基本特征目前应用较多的微细切削方法重要有微细车削、微细立铳削、微细飞切和微细钻削，使用的微细切削刀具相应为微细车刀、平头及球头立铳刀、飞刀和钻头受尺度效应的影响，微细切削的刀具磨（破）损、切削力、切削表面形成等加工机理显著区分于常规尺度切削，刀具所承受的切削抗力、摩擦和冲击等工况条件更为恶劣适用于微细切削的刀具应充足以下基本要求

（1）整体尺度小，局部特征尺度微小针对微小型系统中广泛存在的框架、平面、曲面、轴、槽、壁、孔等各类微小型结构，为了适应微细切削加工特征微小、加工精度较高的特点，以及避开与工件之间的干涉，切削刀具的整体尺度和切削的特征尺度必需同步减小

（2）切削刃锋利在微细切削条件下，为了实现极微量的材料去除，所采纳的切削深度和进给量通常在微米级，切削厚度与刀具刃口半径处于同一数量级,刀具实际前角将表现为较大的负值刃口半径对于微细切削性能的影响不容忽视，切削刀具应具有充足锋利的切削刃但是，受刀具材料特性和制造工艺的限制，刃口半径还不能随刀具整体尺度的降低而成比例地降低3表面质量好表面质量对于微细切削刀具的使用性能影响极大为了获得良好的微细切削精度和表面质量，微细刀具应具有较高的表面完整性及较小的表面粗糙度和微观成形缺陷较差的表面质量不仅会加添微细切削时的摩擦阻力，导致加工表面恶化，而且会减弱刀具强度4强度高，抗冲击本领强对于小直径的微细立铳刀和钻头等旋转刀具，微细切削是在极高的主轴转速下进行微细切削刀具的切削应具备充足高的强度和动态特性，能够承受微细切削时的高频冲击负载5刚性好，抗变形本领强为保证加工精度，微细刀具应具有较高的刚性，以减小切削力作用下的变形和回弹微细立铳削时，刀具刚性不足引起的轴向和径向变形是影响加工精度的重要原因；微细钻削时，钻头变形量过大引起的折断将导致工件报废6耐磨性好，磨损过程均匀微细切削刀具的切削应具有充足高的硬度，以保证其耐磨性用已磨钝的刀具进行微细切削，不仅影响加工精度，并且会产生明显的加工毛刺，给表面精整带来困难7动平衡精度高微细立铳削时，刀具跳动与进给量的比值明显大于常规切削在极高的主轴转速下，切削刃之间的切削负载极不均衡，切削力波动现象严重，将影响切削过程的稳定性和刀具的牢靠性为保证刀尖运动轨迹和加工精度，微细立铁刀、钻头等旋转刀具应具有极高的动平衡精度，使用前必需伴同刀柄系统进行动平衡测试8刀具夹持精准明确牢靠微细旋转刀具的安装误差是影响加工精度和牢靠性的重要因素刀具夹持系统应具有较高的接触刚度和重复定位精度，并具有良好的高速锁紧性3微细切削刀具的材料选用先进适用的刀具材料是保证微细切削刀具综合性能的紧要技术手段单晶金刚石、细晶粒和超细晶粒硬质合金是比较理想的微细切削刀具材料1单晶金刚石单晶金刚石具有硬度高、弹性模量高、与工件材料摩擦系数低、晶体结构呈单晶等优点，可以抛光加工出极锋利的切削刃刃口半径可小于50lOOnm,适合铜、铝等有色金属材料的精密微细切削依据延性域加〜工机理，通过采纳合理的刀具参数和切削工艺参数，利用单晶金刚石刀具可实现硅片、错、光学玻璃等脆性材料的延性域微细切削，能够充足微小型光学零件的精密加工需求另一方面，单晶金刚石刀具在微细切削中的应用也受到很大局限，如与铁的亲和力强，加工钢时化学磨损严重，应用范围重要局限于非铁基材料；硬度极高，多而杂结构成形困难，只适合制造尺度较大、形状相对简单的车刀和飞切刀具，不适合制造带螺旋槽的微细钻头和立铳刀2细晶粒和超细晶粒硬质合金细晶粒与超细晶粒硬质合金是指晶粒度大小在

0.2-

1.3nl之间的硬质合金随着硬质合金晶粒的细化，硬质相尺寸减小，粘结相分布更加均匀，材料硬度和抗弯强度都得以提高，扩大了硬质合金的应用领域细晶粒与超细晶粒硬质合金的以下特点较适合制作微细切削刀具

①晶粒极细细晶粒组织能减小刀具成形过程的崩刃缺陷，制备出的刀具刃口锋利，表层显微组织均匀，几何参数稳定，尺寸一致性好，有利于实现批量生产

②硬度和抗弯强度“双高”，弹性模量大细晶粒和超细晶粒硬质合金突破了硬度与抗弯强度之间的逆向关系，具有较好的综合物理特性，如耐磨性好，经过较长切削行程后，刀具仍能保持较小的刃口半径和光滑表面；刃口强度高，材料去除顺畅,能够获得稳定的加工表面质量；断裂韧性好，微细切削过程中刀具磨损均匀，刀具牢靠性好；弹性模量大，制备出的微细刀具刚性好，有利于保证加工精度，尤其是微小孔的位置精度和微小薄壁结构的形状精度

③加工材料范围广泛细晶粒和超细晶粒硬质合金对于各类工程材料的适应本领较强，其突出优势是可以加工钢，扩大了微细切削的应用领域基于细晶粒和超细晶粒硬质合金刀具的高强高硬钢的微细切削具有广阔的应用前景4微细切削刀具的设计要点从设计角度分析，微细切削刀具并非传统刀具在尺度上的简单缩小，而是基于微细切削特征和面对实在加工需求的一类特种刀具现以微细立铁刀和钻头为例，说明微细切削刀具的设计要点和原则微细立铳削的轴向切削深度和微细钻削的进给量均很小，因此刀具结构可适当简化微细立铳刀和钻头不肯定需要形状完整的螺旋槽，可以采纳单切削刃的结构形式为保证刀具刚度，应尽量削减切削长度,长径比不宜过大刀具刃口形状应比较规定且半径较小，以减小实际切削时的负前角效应由于微细立铳刀和钻头的直径较小，容屑槽空间有限，碎状切屑简单发生堵塞而导致刀具折断，因此可采纳涂层或固体润滑膜来减小刀具与工件之间的摩擦系数，不仅有利于排屑，而且能提高刀具耐磨性5微细切削刀具的制备工艺微细切削刀具的制备工艺是制约微细切削技术进展的难点之一精密微细机械磨削和电火花线电极磨削WEDG、聚焦离子束溅射FIB等特种加工方法是目前重要的微细刀具制备技术1精密微细磨削工艺磨削工艺是比较成熟的刀具制备和修整方法微细刀具的精密磨削工艺重要采纳金刚石砂轮，能够实现高速钢和硬质合金材料的高效成形该工艺的要点是为防止小直径刀具折断，应合理确定刃磨时的磨削压力通过对砂轮施加振动，可以显著减小磨削力和最小成形直径精密微细磨削工艺在肯定程度上可以充足微细切削刀具的制备要求，但受磨削力的影响，能够稳定获得的刀具最小直径受到局限另外,刃磨工艺简单造成刀具表面划痕和刃口缺陷，将直接影响加工表面质量和精度水平；磨削热应力简单引起刀具表层微观结构的变化；微细立铳刀的同心度和直径偏离等制造误差有可能大于微细切削的单齿进给量，成形精度有待提高2电火花线电极磨削工艺电火花线电极磨削WEDG工艺的材料蚀除机理与一般电火花加工相同，电极和工件的运动原理为线状电极在导向器上连续移动，导向器沿工件径向作微进给，而工件随主轴旋转的同时作轴向进给该运动方式的重要优点是线电极与工件之间为点接触，简单实现微能放电;线电极始终沿导向器匀速运动，可以疏忽线电极损耗对加工精度的影响通过掌控工件的旋转与分度，搭配轴向的精密进给掌控，WEDG工艺可以加工圆柱、圆锥、棱柱、螺旋槽、平面等多种截面形状该方法的重要优点是刀具成形过程中无机械力作用，成形的尺寸精度和形状精度较高，为微细刀具制备供给了一种有效方法3聚焦离子束溅射工艺聚焦离子束溅射工艺是一种显微加工技术，同样可以用于微细刀具的制备，其基本原理为选择原子量较大的液态金属钱原子量为

69.72,其原子质量远宏大于电子的质量作为离子源，在离子柱顶端施加高密度的电场，形成数十keV的高能离子束，通过静电透镜将离子束聚焦为亚微米直径的斑点，然后掌控聚焦后的钱离子束对工件进行轰击，将钱离子的动量传递给工件中的原子或分子，产生溅射效应从而实现材料的去除通常每个入射线离子可以去除35个工件原子，可以精准明确掌控材料的去除量〜利用聚焦离子束溅射工艺，可以对硬质合金、高速钢、单晶金刚石等材料进行显微加工与精密磨削相比，基于聚焦离子束溅射的刀具成形过程没有机械力的作用，刀具在制造过程中不会破损，能够制备出具有微小特征尺寸的微细刀具4激光加工工艺为了克服聚焦离子束溅射工艺成形效率较低的问题，德国卡尔斯鲁厄大学对采纳激光加工工艺进行微细刀具制备进行了探究该工艺同样无机械力作用，加工过程中无振动，刀具不产生变形，加工成本较低目前存在的问题是成形表面较粗糙，加工表面质量有待提高6结语微细切削对于由金属材料构成的微小型结构及零件的制造具有一系列原理优势，是微制造技术的紧要进展方向之一微细切削刀具是实施微细切削的必要条件，直接决议了微细切削技术的应用水平因此，微细切削刀具技术的讨论和开发具有非常紧要的工程应用价值随着微细切削加工机理、刀具材料和刀具制备工艺等相关理论和技术的进展，微细切削刀具的应用化程度必将不断提高，并成为推动微细切削进展的紧要基础技术。