排气车设备日常保养点检表

设备日常保养点检表部门/车间一灯管车间班组排气页次1/1设备名称排气车编号JE112B点检状况年月序项点检内容方法/工具频度12345678910111213141516171819202122232425262728293031号目

1.真空系统无漏气现象检漏器1次/天

2.烘箱及盖的螺栓、螺帽无松脱手动/板手1次/天

3.扩散泵外表面无裂纹，油位正常目视1次倜排

4.真空泵无异常、油位正常；电机正常，1气目视1次/周皮带无老化、断裂车

5.各气源橡胶管是否老化、破损、开裂目视/闻1次/天

6.各个控制开关工作正常，无失效；温控目视1次倜表正常控温

7.班后需清洁机器及周围的卫生目视/毛刷】次/天

1.真空系统无漏气现象检漏器I次/大

2.烘箱及盖的螺栓、螺帽无松脱手动/板手1次庆

3.扩散泵外表面无裂纹，油位正常目视1次调排

4.真空泵无异常、油位正常；电机正常，2气目视1次/周皮带无老化、断裂车

5.各气源橡胶管是否老化、破损、开裂目视/闻1次/天

6.各个控制开关工作正常，无失效；温控目视1次/周表正常控温

7.班后需清洁机器及周围的卫生目视/毛刷1次/天状检记常栏况录点异主点检者管设备员注

1、记录符号点检状况如实填写打“正常，打“X”异常待修，修复后请在“X”上打“O”

2、本表请点检保养者如实填写，如有异常请即时处理或通知相关主管联系处理，并记录相关需保养事项，以达到预防保养之功效表格编号FM-JLED-008。