切断作业指导书

江苏阳光晶源科技有限公司标准操作文件编号:版本切断作业指导书受控状态4t准审核编制日期日期日期

1、目的对已完成电阻率测试、分段划线的单晶棒进行切割，应符合单晶棒样片规格和产品包装要求

2、设备和常用工具

2.1设备华盛天龙带锯车床GF1046型

2.2常用工具游标卡尺、专用扳手、活动扳手、钢丝钳、千分表、卷尺、电子秤、计算器

3、技术要求

3.1单晶样片厚度为顿，平行度WO.5nliI）

3.2单晶切割断面与晶轴垂直度W

0.5mmo

3.3单品切割端面边缘崩边的长度不得超过2mm,不得有深度大于

1.5nlm缺口

4、适用范围直径6英寸单晶棒切断

5、操作步骤

5.1穿上包头鞋、套上围群、戴上袖套、手套、防护眼镜、口罩和帽子；

5.2合上电源开关，打开计算机，待触摸屏屏显示“单晶锯带控制系统”时，按下启动按钮，计算机启动完毕；

5.3检查锯带是否有裂纹和查对锯带切割次数是否达到200刀，如有裂纹或切割次数达到，则按锯带更换步骤进行；

5.4打开冷却水开关，启动锯带，锯带打在自动状态；

5.5确认工件表面离锯带20-30mm,将前感应触头靠近开关，其指示灯亮，固定螺母；

5.6确认导轨退到边缘，两个人抬单晶棒上夹具，注意单晶棒尾部朝向锯带方向，调整后并夹紧；

5.7校对单晶棒分段划线的位置，用控制面板上“送料”进给调整，也可用机床上手轮操作；

5.8设定切割速度约10小111/血储调整锯带张力约300KG左右，调导向器，在控制面板“锯带控制”栏点出锯带启动，锯带转速约750rpm,锯带启动正常后，点出“等速切割”或“变速切割”；

5.9切割单晶棒尾部完毕，如需切割样片，则导轨退回边缘，设置样片厚度，直接步进，进行切割，样片切割完毕，则在样片上做好编号；

5.10确认导轨退到边缘，松开夹具，两个人抬起晶棒，使晶棒头部朝向锯带方向，调整后并夹紧；

5.11检查锯带，重复步骤；

5.12切割单晶棒头部完毕，如需切割样片，则导轨退回边缘，设置样片厚度，直接步进，进行切割，样片切割完毕，则在样片上做好编号，并做好锯带切割次数；

5.13松开夹具，两个人取下晶棒，立即在头部作好编号，晶锭号和头尾不得混淆；

5.14当天晶棒切割完毕，在控制面板点出退出系统，结果显示“可安全关闭计算机”时按“关闭计算机”按钮，即完成操作过程；

5.15切断电源，冲洗机床；

5.16清洁触摸屏和地面上卫生；

6、锯带更换步骤

6.1确认锯带在停止状态，用板手送开张力螺丝，使其张力为OKG,用起子松开导向器螺丝；

6.2打开锯带防护盖，取下锯带；

6.3放上新锯带，紧上张力螺丝，查看触摸屏，使锯带张力为300KG,紧上导向器螺丝；

6.4做好锯带更换记录；

7、注意事项

7.1应经常检查感应开关是否正常，损坏立即更换；

7.2进料手动自动不可频繁切换，以免损坏控制器元件；

7.3锯带张力不得超过500KG,在切割过程中切记不能断水如出现异常需要停止时，必须退回原点，重新切割禁止锯带刃口线不在切割起始位置就进行自动切割；

7.4计算机的灰尘过滤网要定期清洗，端子板也要定期除尘；

7.5锯带在高速运转下，严禁用手靠近锯带刃口；

7.6导轨、操作台、夹具要定时上润滑油，以防生锈；。