进入洁净室物品管控

进入干净室日勺材料、设备和机器

一、干净室用材日勺选择.必须仔细选择干净室的多种用材，保证它们不会对室内导致污染干净室内常常使用的材料1与设备举例如下）生产中使用的材料在微电子工业中使用的硅晶片；1）产品包装材料如玻璃瓶、塑料瓶、塑料袋、预制的盒子等；23）工艺设备和机器；4）对设备和机器进行维修、校准、修理的工具以及转动设备的润滑剂等；5）人员服装，如干净工作服、手套、指套、口罩、头罩等；，6）干净室清洁用品如抹布与拖把；7）消耗性用品，如书写纸张、圆珠笔、标签、棉签在大多数干净室中粒子和纤维都是环境污染的重要来源因此，应避免在生产工艺中使用容易破损或散发粒子的材料其表面带有粒子和纤维的材料也应避免使用在半导体工业中，产品表面的化学品和空气环境中的某些气体分子也许形成的化合物，会沉积在半导体的表面上，它们也许影响产品质量，甚至损坏半导体芯片在某些干净室中，那些无法将静电不断地传导开的材料，也许会由于静电荷的积累和放电使那些对静电敏感产品会受到损坏此外，静电还会使材料产生静电吸附效应而吸附粒子，导致污染问题选择用于干净室内的生产材料，不仅仅要着眼于适合于生产工艺，并且也应关注与否有也许产生污染显然对那些既也许构成污染，但又是生产所需的材料和物品，只有在缺之不可的状况下才干使用，或只有在已经充足结识到了这些材料产生污染的问题，并考虑了其他替代材料但又的确都不适合后，才可使用

2.如下所列举的部分乃至所有物品，因其会导致干净室的严重污染，根据产品对污染的敏感性不同，一般严禁在干净室中使用1）非干净室专用纸，如果一定要使用一般纸，应将其放入塑料袋内或采用双面热塑；笔、修改液；2）铅笔与橡皮、墨水中具有污染干净室环境的化学品、纤维头书写笔或者会划纸的圆珠）用低碳钢或其他会生锈、磨蚀、氧化的材料制成的物品；34）用机器加工或解决时会冒烟或破损的物品；）用木头、橡胶、纸张、皮革、毛、棉及其他天然材料制成的易破损物品；56）研磨材料或粉末、产气愤溶胶的瓶瓶罐罐;7）不适合于在干净室中使用的一次性物品，如棉签、胶带、标签；8）干净室人员不得将第8章

8.12节中开列出的个人物品带入干净室内

二、外部供应日勺物品及其包装如果物品的供应商对干净室规定知之甚少，或主线不予关怀，那么它所供应的物品在进人干净室时也许已受到了严重污染在某些状况下，这也许是导致污染的一种重要因素因此，为解决此类问题应采用某些措施

1.外供物品宜在干净环境中产生供应干净室的物品规定在干净环境中生产，其干净度原则宜与产品所供应的干净室相同如果外部供应物品交付时不能达到合适的清洁水准，则必须在干净室中对其加以清洁，但这样做的效果也许差些有越来越多的公司在干净环境中制造供应干净室生产所需的零部件，干净室管理人员应当向本公司采购部门强调，要关注干净室物品供应商的生产环境应尽量选择质优价廉，又是在相应干净环境中生产的干净室用品，以保证本公司洁净室的干净度和减少清洁外供物品的耗费参观考察供应商的生产设施并检查其生产环境是很必要的外供物品生产厂家也许并不熟悉干净室技术因此，对他们的生产工艺的某些简朴建议和改善，就也许产生不错的效果虽然制造厂家不具有干净生产环境，但只要有较高水平的干净管理条件，使用干净室用的手套、抹布、不起毛的服装等，也可大大提高产品的质量

2.外供物品的包装材料应注意产品的存储和包装如果加工的产品从生产设备上取下后立即用合适的干净包装方式包装好，则周边较差的生产环境对产品的影响就可以降至最小外供物品的包装措施和包装材料必须考虑所供应的干净室的干净度等级，包装的尺度、外形均应符合贮藏、运送、开箱过程中防污染的规定，对包装材料的重要规定有如下几占

八、、••1）包装材料的无污染性规定包装材料自身不产生粒子、纤维、污染气体及蒸汽等，不明显地带静电，不与包装品产生化学反映；）包装材料必须使用可以清洁到包装物品所规定的干净度的材料；2）材料的强度及耐久性包装材料应承受温湿度、外部作用力和紫外线等影响，可以保证所规3定的密封性，避免运送、寄存过程中破损而污染，以致将污染带入干净室中干净室外供用品的良好包装，不仅可以避免产品在运送途中的损坏，也可以最大限度地避免产品受到外部环境的污染常使用的塑料材料为塑料薄膜或预制的包装塑料塑料材料与其他许多材料相比，粒子、纤维、化学污染较少塑料污染的大小取决于所使用的塑料种类、制造措施以及包装方式因此，对所用塑料包装与否合适也要进行检查有些塑料会产生静电，从而也许损坏产品如果使用防静电塑料，它对粒子及纤维的吸附作用也较小，因此也更干净如果需要控制分子污染的话，则有些塑料包装材料（如PVC包装材料），也许就不合用了

3.外供物品的包装方式还要考虑的是需要几层包装如果干净室用的物品采用的是多层包装，就可以在其运往干净室的过程中一次打开一层逐渐拆装，这就可以保证物品送至干净室时是较干净的对外包装用真空吸尘器吸扫外表面及用潮湿抹布擦拭，有助于保持其清洁，特别是在将产品运往干净室的开始阶段，特别如此随着产品逐渐进入干净室，外包装也变得越来越干净，相对而言外包装的清洁工作就显得不那么必要了包装物品有多种各样的对的措施不同的物品、不同的用途、材料传递气闸室的不同设计等使得包装措施也有很大区别因此，干净室的管理人员必须规定合用的包装材料，规定所需物品在进入干净室的过程中对包装进行清洁和打开各层包装的规程

三、通过气闸室传递物品和小件设备任何干净室都不免要和其他低干净级别区或非干净区发生物品传递的状况，减少传递过程中污染物的侵入是重要的平常管理工作一般使用气闸室、缓冲间以避免干净室外的空气直接进入干净室内在气闸室的两个门均关闭时，从外走廊在开门时侵入的污染以及使用气闸室的人所散发出的污染，均被气闸室的送风所稀释材料传递气闸室的两个门犹如人身净化的吹淋室同样，一般都是联锁的这样就可以保证一扇门关闭之前另一扇门是不能打开的，可采用电气联锁，也可以是机械联锁这样就可以避免外部较低干净级别或非受控区的空气直接进入干净室粘垫则放在气闸室入口处，或者气闸室内粘垫的作用是避免鞋底或推车轮子上粘附的污染转移到干净室内气闸室也用来避免材料表面及其包装上的污染物带入干净室如下简介了两种通过气闸室传递材料的措施一种是“有台”式材料物品传递气闸室；另一种是“无台”式材料物品传递气闸室可根据所传递的材料物品及传递的安全性选用L带传递台的气闸式传递室“有台”式材料物递气闸室是将供应品安全地传递进干净室的措施之一这种方式就是由传递台将气闸室提成“较脏”与“清洁’两个区，这种措施合用于传递较轻、可以由人力搬动的材料和设备使用传递台传递物品的措施如下）清洁传递台先将非受控区一侧的门打开，搬运材料或设备的人员，从较低干净级别或非1受控区进入气闸室气闸室地面铺有粘垫或粘毯，这样，从外面地板向内转移的污染就可以至少搬运人员按规定措施对传递台进行清洁，必要时对其进行消毒，进行清洁工作时要注意，较长的传递台面被分为两个区域，靠干净室一侧为“清洁”区，靠较低干净级别或非受控区一侧为“拆包”区，如图10-1所示，2）送入传递物品并拆包完毕清洁工作后搬运人员将带包装的物品送人气闸室但不得把纸板箱的包装材料带入气闸室内，由于它们会散发较多粒子，易导致交叉污染将带着塑料包装的物品送入气闸室后，将其放置在传递台的拆包’区一侧，即所谓的“带包装”侧或“脏”侧随后对包装进行清洁，然后拆开包装其具体清洁措施根据使用物品的干净室的原则而定，高级别洁净室规定“精干净”，一般干净室规定则略低然后把物品放置于传递台的另一侧，即所谓对包装已拆”侧或“干净”侧将物品从外部区域送人气闸室内的人员携带装置外包装的容器，关上通往外部区域的门，离开气闸室3）气闸室充足自净让气闸室处在无人状态下数分钟的时间，以便将污染降至这样的浓度当干净室一边的门打开时，干净室不会受到大的影响为实现这一目的，可安装内外门的联锁计时装置或批示灯当干净室侧门自动打开或批示灯点亮后，干净室的人员进人气闸室，拿起物品后离开气闸室，如图10-2所示图10-1“有台”式气闸室示意图图10-2洁净室人员从气闸室将物料搬走

2.无传递台的传递区如果需要将大的重型设备或机器进出干净室，则常常使用不带传递台的气闸室但不带传递台的气闸室作为传递区使用时，其安全度一般低于带传递台的气闸室其工作程序如下拆除用纸箱等包装的干净室用品放在一清净小车上小车从外部的非受控区推入传递用气闸室，人员随后离开来自干净室的人员进入气闸室并取到供应的材料如果该材料较重，不得不将小车推入干净室在将小车推人干净室此前，必须在气闸室内对其进行清洁如果材料不那么重的话，则可将材料转移到从干净室推过来干净室专用的材料转运小车上清洁或拆除材料的包装，或先清洁再拆除包装然后，将载有材料的干净小车推入干净室，干净室的门随后关闭如果有物品需要带出，外来的小车可临时留在气闸室如果有更多的供应物品需要运入，外来的小车即可离开气闸室当把干净室的小车推人干净室前，可以考虑使用干净室粘垫或粘毯清除小车轮子上的污染物

四、干净室固定设备日勺进入、安装与维修对于那些进入干净室就位后就同定不动或相对同定的大型设备，例如干净室生产工艺用的自动机械加工设备、隔离性装置、排风罩等，此类固定设备一般处在干净室核心工序的周边，它们一旦被安装到位，再次移动不仅十分困难，并对干净室的环境条件也影响较大对于此类干净室的大型设备，一方面规定供货商在生产制造时，务必在干净环境中，并且其包装材料、措施也应符合干净室的规定

1.固定设备进入的程序为了避免发生大型固定设备进入“动态”干净室，也就是说干净室已投付正式运营，还要进入大型固定设备，应当在管理计划中尽量排出由于在这种特殊状况下，干净室按ISO14644-2证明持续符合ISO14644-1的测试和监测技术条件”的规定要重新认证干净室，其工作是相称繁杂的正常状况下，一般是在空态或静态条件下将固定设备送入把设备送入干净室时，应当关注的问题是整个过程都不应增长对环境的污染解决大型部件运进运出的最佳措施就是设计一种大型物流气闸室它足以将每件设备运进运出干净室如果条件容许，设计干净室时，宜考虑采纳这个方案设备进出干净室的另一设计方案是在干净室的墙上开一组双门，大得足以容纳机器、大型设备件的通行由于这样的通道有也许直接与外走廊相通，因此必须锁住，只有设备需要进入时才打开有些类型的墙板模块可以取下来再安装好又不对墙导致损坏，这样的话，就不需要另开门洞

2.可在干净室内墙一侧建一种临时气闸室所有准备进入的设备都要检查在运送中有无损坏，有损坏的设备应当在干净室外隔离保护起来，待供货商修复或另行解决运送用的板条箱、硬纸板等应当在邻近干净室的未受控区内拆封，然后再运进受控环境如果没有包装，则设备的所有表面都应当予以清洁，然后再运进干净区抱负的措施是在设备专用气闸室内进行设备清洁，当设备过大时，宜于在气闸室或干净室附近临时专门修建的房间内拆掉最外面的薄膜材料，作进入干净室前的清洁工作拆包过程如下1）对设备外护层用吸尘设备进行清洁，从顶部开始，向两侧扩展；）用合适的清洁剂擦拭外护层；2，3）从设备外护层的顶部撕开一种“工”型或“X”形切口从顶部向下剥离外护层）如果有多层包装，每层包装膜都要按）、）程序反复进行；4235）所有运送设备人员进入气闸室前都要穿上合适的干净服；6）所有移动用、搬运用的设备都应在气闸室内进行清洁；7）在打开气闸室靠干净室一侧的门运入设备前，应先清洁气闸室3,通过传递窗传递材料除了物流气闸室外，尚有其他措施可将材料传递入干净室内供使用将小型的物件传进传出干净室通用的措施就是使用传递窗传递窗的工作方式与物流气闸室相似，将物品传递入干净室，大体通过下述的环节1）在干净室外面的人员打开传递窗的小门，对传递窗进行清洁;2）打开物品的一层包装，将物品放入传递窗内；）关闭传递窗的小门；34）在传递窗另一边的人员打开传递窗的内门，取出物品对取出的物品进行清洁在污染控制规定严格的场合，则再打开物品的另一层包装传递窗一般都带有电子或机械的联锁装置，避免两个小门被同步打开，这样可避免外部空气流入干净室有时将传递窗建在与地面水平的位置，便于较重的物品通过传递窗.固定设备运入的机械4如有也许，大型设备应当临时拆卸为能安全进入干净室的组件，使干净室设备运入过程的风险减少由于这些大型装设搬运中，与干净室围护构造表面接触时，也许发生磨损、撞伤，并产生污染所有用于大设备、组件的提高、牵引或定位的专用设备，在进入干净室前必须彻底清洁此类设备多数不是专为干净室使用而设计、制造的，应彻底地检查有无膜屑，表面剥落状况或不适宜进入干净室的材料一般宜用与干净室级别相适应的塑料薄膜或带子包裹或密封这些设备的外表面设备如橡胶轮，（宜用干净室专用塑胶带）包严，以免在地面上遗留下橡胶或cleanroom-compatible plastictape塑料微粒

5.固定设备的安装程序最有效的措施是在设备安装阶段用临时的隔墙或隔断把设备所在位置与干净室隔离开来为不阻碍设备安装，在设备周边应留出足够的空间，但同步也要注意隔离区空间适度，不适宜过大操作程序及其他注意事项如下（（）设备应尽量通过服务通道或其他非核心区）进入隔离区1non-critical areadisolation area）,如不也许则应采用措施尽量减少污染2）该隔离区的气压相对于周边应维持中性或负压完全封闭的隔离区则应当截断区内的干净空调送风，以减少安装时产生的污染物向外扩散3）应当事先制定计划，明确对隔离区和周边区域监控的措施和频率，保证能及时发现污染物由隔离区向外渗入的状况4）设备就位后，在架设多种动力设施，如电、水、气体、真空、压缩空气和排水管道时，应采用措施控制操作过程产生的烟气和残渣，避免污染周边的干净室，也有助于减轻拆除隔断时的清洁工作量）在设备安装工作完毕后，清除隔离区内的污染，墙、地面、设备等所有表面都要用真空吸尘5器打扫、清理和擦拭要特别注意设备护板背面和下面区域的清洁）在隔离区清洁工作完毕后，可以进行设备的试运营和设备性能的初步测试，但最后验收的测6试，则需要完全具有干净室的条件方可7）经仔细分析，选定对干净室内的正常工作干扰至少的时间拆除隔断墙在小心地拆除隔断墙的同步，隔离区内原被临时阻断的送风口，开始恢复送入干净空气此过程中，宜于随时监测周边离子浓度的变化，，）清理隔断后设备所处位置恢复干净室正常状态开始对设备内部和核心工序部位（8critical）进行进一步清洁和作投入使用的准备processing chambers,）对设备所有内腔和所有与产品接触表面，也涉及产品装卸的表面，都要进行擦拭，使之达到9规定的干净度水平设备清洁顺序应是从顶究竟如果清洁过程中有颗粒物散出，则较大的粒子，在重力作用下将落到设备底部或地面10）再次清洁设备外部，其顺序也是从顶至底）必要时，应检查产品或工艺规定非常核心区域的表面粒子状况

11.固定设备的维护与维修6任何设备都需要定期维护或临时维修对此项工作的指引原则是无论设备进行维护或维修时，都不能导致对干净室的污染维护、维修工作完毕后要清除设备外表面的污染，按工艺规定，必要时还要清除内表面的污染1）如有也许，凡要进行维修的设备应先移出干净室再维修，以减少污染产生的也许性；，，）如果必要应将需要维护的固定设备与周边的干净室隔离开来再进行重要的维护或维修2或者采用把所有正在制造的产品移往合适位置的措施；3）正在维护、维修设备相邻的干净室区域，应合适加强监控，以保证有效地控制污染；）在隔离区内进行维修、维护的工作人员，不应与干净室的生产或操作人员发生接触；4）进入干净室的维护或维修人员，应遵循该干净区的规范，涉及穿着合适的工作服及维修完5毕后对该区和设备清洁应达到规定；6）如果技术人员需要躺下或爬到设备下面去维修，应当先拟定工作条件与否合适，应在进行化学品、酸或生物危险品有效中和或合适解决后，再开始维修工作；7）应采用措施保护维修人员的干净服不接触到设备上的润滑油或工艺用化学品等污染物，还应避免干净服被设备、工作的锐边扯破、捅破；）进行维护或维修工作用时所有工具、工具箱、小车等，在进入干净室前都应彻底地清洁，8不容许带入任何锈蚀的工具如果进入生物干净室，则还也许规定灭菌或消毒；9）维修技术人员应避免把工具、多种零配件、损坏的零部件或清洁用的工具材料等任何物品，放置在产品或工艺材料用的工作表面附近；，，，10）维修工作过程中应当注意清洁随时进行清洁工作定期地更换手套避免因手套破损，维修人员的皮肤接触设备干净表面的状况发生；11）如果规定使用耐酸耐热或耐切割型的非干净室手套，那么这些手套应符合干净室规定或另套一副干净室手套；）如需进行钻、锯作业时，应使用专用的罩盖，把工具和进行钻、锯的区域遮蔽起来，同步12使用干净室真空除尘器，及时吸走扬尘，）在地面、墙面、设备侧板或其他表面钻孔后，留下的缝隙、孔洞要采用密封措施，如用13填料、粘合剂和特殊制造的板堵塞，以避免污染物经孔洞、缝隙扩散到干净室内。