单晶炉操作注意事项

单晶炉操作注意事项单晶炉操作注意事项

一、装料准备/方法/原则安全及准备

1.小心防止锐利的多晶划伤手制或其它部位

1.1禁止在炉内温度很高的情况下开始装料

1.2认真检查”单晶拉制及设备运行状况以及水、电、气是否符合开炉条件装料前应检查项目开炉标准、水压不低于

1.3不高于・

0.15MPa,03MPa氮气压力0・1〜

0.2MPa热检＜

0.6Pa/5min炉子极限真空度:v6Pa/40min机械运行正常各种电器仪表显示及运行情况正常严格禁止不检查热场系统，不擦炉装料

1.4应检查加热器已使用炉数加热器化料电压（是否偏高）加热器是否打火，电流电压无摆动石墨甘埸已使用炉数、石墨甘塌无裂缝、磨损，与石英珀埸缝t t隙是否过大石墨甘埸外壁无较厚挂有硅晶层t石墨电极板无打火迹象石墨电极板与加热器、不锈钢电极连接无松动石墨电极板无裂纹、损伤石墨托杆旋转时无松动、摇摆、损伤禁止不检查石英珀堤就放入炉内,对于石英甘埸应做如下目检

1.5t石英甘堪无触痕（暗伤）/裂纹/划伤/变形/厚薄不均t石英甘堪没有附着物/喷溅物/指纹/斑点t石英甘堪内表面无粘污膜/变色t石英甘埸内表面无失透点/大气泡＞气泡群＞个t3mm/3/cm2石英甘蜗上口是否无明显的切磨加工缺陷t与指令单上的型号一致核对运行号/目标电阻率/装料量/掺杂量等保持一致

1.6检查籽晶型号/完整性一致/完整

1.

7.操作人员装炉时，班长应在现场监督和指导并遵循一下三原则2装料时必须轻拿轻放，体现一个“轻工

2.1带上无尘手套后除拿料外不能接触其它物品，体现一个“洁”

2.2料放置要稳妥、均匀,禁止反复多次摆放，体现一个“稳二

2.

3.装料前.埸位应上升到较高的位置，3禁止低埸位装料

3.1禁止旋转甘摒

3.2t禁止不带口罩喧哗/触摸石英均堪内壁

3.3禁止向石英珀埸内倾倒多晶硅/赤手抓取多晶

3.4根据料块的形状和大小，可按一下原则放料

4.装料前，把要装的料全部观察一遍，掏出大块料，若有回熔料，与回熔料放在一起进行破碎后方能装料

4.1大块料的放置

4.2大块料的上边沿一定要低于熔体水平线

4.

2.1超过的块装料包括回熔料必须进行破碎方能装料

4221.5kg大块料沿石英内壁摆放，然后放入掺杂剂,再把小块料放里面423料块尖锐的部分不能朝向石英甘埸壁，更不能有接触点，只能用平坦的面接触石英珀埸壁

4.

2.4tXX⑻料块尖锐的部分朝向石英甘堪壁/禁止⑹正常何以b t装完料后，清除石墨热场内散落的硅渣.

4.

2.5籽晶检查及安装方法

5.检果籽晶是否过短，籽晶表面是否有损伤，上炉拉制时籽晶有无吃渣现象，首先用钳子轻轻较去受损部分，观其长度是否可用，

5.2否则更换班长做好更换详细记录并签字安装籽晶方法戴无尘手套去掉籽晶重锤去掉重锤后严禁籽晶软轴升降操作，否则会出现软轴脱槽导致设备损坏、拉晶报废重

5.3大责任事故，取下籽晶固定销，插入籽晶后轻轻将销钉装入重锤同时籽晶轻轻上下移动，待销钉位置完全进入后轻拉籽晶确定籽晶在最低位置用纸和酒精将籽晶和重锤擦式干净后将重锤安装在软轴上籽晶安装完毕后，将上轴以最快的提拉速度升降两次检查籽晶在升降过程中是否有停滞、晃动、限位失控等异常现象若出现

5.4异常应立即通知维修和班长并停止下一步操作取棒时向下拉紧重锤，用钳子轻轻钱断籽晶细颈区并防止重锤上跳和旋转否则会造成人身伤害和损坏设备，待籽晶稳定后方能松

5.5开重锤软轴检查注意事项

5.6每次取棒后必需检查籽晶卡头与绳软轴连接处有无毛刺、松箍、烧损等不良现象，若发现后应立即通知维修并进行更换，每月第SI一次大清后必需更换软轴严格防止晶体拉制过程中出现掉棒等恶性事故，班长要对更换炉台进行统计与记录—、抽空/检漏注意事项抽空要求分钟内抽至以下否则进行以下检查

1.4050MT重新进行驱气程序并抽空

1.1打开单晶炉和过滤器并检查其型环安装情况，用酒精擦干净进行二次安装，若型环损坏则通知维修更换

1.2“0”检查真空泵和泵油有无异常若泵油较少，则添加适量泵油若泵运转异常通知班长填写维修申请单

1.

3.检漏要求按严格执行2MOP

三、化料/稳定驱气后进入化料程序，操作方法按要求做由于化料需要很长一段时间也是单晶拉制中高事故率和不可逆转的一道工序

1.MOP在此期间操作工要对其进行严密监控，通过观、听、触、闻及时发现异常点（包括水、电、气、泵等）操作人员不得在此期间离开岗位在加热前每位员工要养成点检习惯，是否热场装到位，籽晶、掺杂剂是否安装好

1.1化料过程中要核对端位，密切注意埸位的变化

1.

2.化料完毕后进入高温挥发挥发程序并不是必需，依据工艺要求进行并按执行挥发完毕后进入稳定2MOP挥发功率不得高于化料功率时间不得超过工程师要求

2.1处理挂边功率不要过高,避免石英珀埸高温变形

2.2挥发时严密关注溶硅是否产生硅跳现象如果出现将功率降低至引晶功率，将氨气开大适当调低塌位避免溅硅损伤热场器件

2.3稳定时埸位要慢慢上升至引晶埸位，严禁快速上升，并观察塌位变化一般距离导流锥

2.420MM稳定时注意功率和温度变化，防止温度过低液面结晶

2.5调整晶转、过转至要求并检查转向是否符合工艺要求

2.6MOP

四、熔结/引晶熔结是成晶基础，良好的熔结是拉制单晶最关键因素之一当温度稳定一段时间后分段缓慢下降籽晶至液面，当籽晶和液面接触时

1.立即停止下降观察籽晶光圈是否清淅当光圈清淅时至少保证分钟方能引晶过程注意事项10下降籽晶速度一定要缓慢，下降至导流筒中部停止下降，烘烤籽晶分钟然后下降至离液面大约处停止再次烘烤籽晶

1.1350MM5分钟，严禁立即接触液面下降籽晶时操作员工要注意力集中，不得与旁边同事交谈，眼睛注意籽晶的位置变化，防止籽晶重锤*

1.2插入埸中造成人为事故籽晶接触液面瞬间观察籽晶变化，若有快速结晶现象则立即提起籽晶，升高温度化掉结晶部分若籽晶马上熔断则适当降低温度

1.3等温度趋于平稳时再下降籽晶并试温（试温是一个经验过程，希望大家工作时互相交流）每次试温下降籽晶长度不得大于5MM此过程主要是用来控制避免籽晶损耗和操作强度严禁野蛮操作开始引晶时适当降低温度设定点（）初始拉速不要超过引晶时从熔结处缓慢上升，尽量保证形成倒锥形，当

1.45~15,75MM/H,

1.5温和直径保持相对比较稳定时则缓慢提高拉速至要求，引晶过程中温度设定点调整范围不要超过个点并保证引晶直径在MOP55MM长度不得低于方可进行放肩120MM引晶直径不允许过细，若低于则回熔直径过细在晶体拉制和取棒过程中易折断

1.63MM引晶过程中尽量减少拉速波动有利于温控系统对晶体后序判断温度控制和放肩生长控制

1.7

五、放肩/转肩放肩生长拉速按照执行由于每位员工在引晶时拉速不同，各炉台温控灵敏度也不同，放肩时降温最好手动控制但降温幅

1.MOP度不易过大第一次降温至第二次降温间隔分钟适宜放肩速度不易过快，在放肩过程中出现开角过大或晶体成不规则方形证明30放肩速度过快，降温过多或拉速较低造成的在放肩过程中尽量减少拉速的调整如果放肩成锥形，证明放肩速度过慢可适当降低温度来控制.转肩时拉速按操作转肩时刻应依据放肩速度快慢而进行尽量转过肩后直径偏离目标最好保持在左右，避免反复收2SOP±1mm放直径引起掉苞转肩时跟据液面晶体光圈强弱和直径信号大小来调整拉速若信号变小则反应晶体直径在变细，应适当降低拉速（降拉整值一般

2.1比设定值低）并观察直径的变化,这个过程需要一段时间来反应不能即时体现，严禁将拉速设定低于小时，目的是为了10%30MM/防止炉内温度急剧下降引起晶体突然增粗整个操作过程首先要通过晶体光圈来判断晶体直径发展趋势，判断准确才能有效地控制晶体直径转肩时检查堪升、温度设定点是否处于自动状态

2.2转肩时人员要频繁测量直径，确保直径和随工单直径相对吻合，严禁偏离目标直径超出

2.3±3mm转肩后手动拉制一段约，当直径信号和直径无明显波动时方能进入等径状态

2.430mm

六、等径/回熔

1.进入等径状态后不要马上离开单晶炉，观察拉速、直径是否有明显的波动或失控如果拉速或直径信号偏离设定区域（参数依照

1.1）应将直径控制退出自动，手动调整拉速待直径稳定后重新打开自动控制并观察其稳定性MOP由于炉特性，在等径尾部时经常出现直径失控并造成溶体温度持续下

1.2DRF-85降，引起液面结晶，如果没有及时发现及易造成严重后果直径失控引起整支棒收率下降

1.3等径拉制时出现掉苞注意事项

1.4）首先确定掉苞点以上晶体长度、热场状态（石墨幻塌炉数、性能等）单晶炉状态并通知班长1）班长依据决定是否回熔或取棒，班长无法断定必需及时通知工程师或主2MOP管回熔

2.回熔前首先要经过班长确定

2.1晶体提起前首先将直径控制、温度控制退出自动，然后将晶快体快速提起

2.2将功率缓慢升至（严禁超过化料功率）并适当下降埸位，调晶转、堤转为100KW,将待回熔晶体缓慢插入熔体中在插入过程中要注意晶体严禁连续下1R/min降至液面应以点动的方式下降晶体，当晶体离液面大约20MM处停止晶体下降，然后再点动下降直至接触液面每次接触熔体长度依据留竭料多少和操作经验来判断，当余料较多时可下降约拉制多支晶棒20MM,时由于余料较少时禁止超过以上目的是为了防止因操作按键失控引起晶体碰触石英珀埸从而进一步造成籽晶损伤和漏硅事故10MMo若出现按键失灵情况应及时将快速按钮扳回至零位回熔时员工不得离开工作岗位，严密监视炉内情况

2.3回熔过程中如有任何异问必须请教老师傅、班长或工程师，不得擅自盲目处理

2.4

七、隔离/提纯在晶体拉制过程中或紧急处理过程中经常要使用副室隔离系统，从实践经验来看很多加工失误来自于此工序的准确操作而正确无误地操作这一过程单晶员工必需具备丰富的工作经验和高度的的责任心以及熟悉该工序运做原理为此，向所有员工提出以下操作注意事项

1.■操作此过程必须有两位员工同时协做完成

1.1关闭隔离阀前首先要确认晶体最低处应高于隔离阀顶部并确认晶转为零转、晶升停止、堤升停止、埸转为、加热功率稳

1.21R/min定按要求正确打开各个氨气阀门后方能关闭隔离阀检查氧气流量是否符合要求并检查主炉室、副炉室压力变化如

1.3MOP MOP果主炉室压力瞬间变小证明主炉室氨气阀门未打开应立即打开否则出现多晶料氧化报废当副炉室压力达到个大气压后不要立即提1升副炉室应打开副室侧面的手动放气阀等待30秒后听不到州兹哦”充气声后方能进入下一步操作，在进入下一步操作前应将手动放气阀关闭提升副炉室应小心缓慢并将晶托移至副炉室中心位置做好晶体防护工作并

1.4防止高温晶体烫伤和扎伤提纯2取完晶棒或检修后要打开隔离阀重新拉制晶体就必需进入氨气提纯程序为避免炉内熔体氧化必需严格按照执行MOP打开副泵前首先检查手动放气阀是否紧闭，出现异常情况即时通知维修

2.1每次抽空提纯当炉压显示至时应立即关闭抽空阀,防止抽空惯性将主、副炉室贯通造成加工失误提纯次数不得

2.2400Torr54KPa小于次！3最后一次提纯时当主、副炉室压力相差不多时一定要先关闭抽空阀，然后才能打开隔离阀打开隔离阀后再关闭主炉室氨气阀并

2.3保证副炉室氨气阀门处于打开状态，全面检查炉压状态和氮气流量处于工艺要求范围内提纯工序完毕后将埸位以的速度上升至引晶竭位严禁快速点动上升埸位防止温差突变引起石英埸异变

2.4150mm/h

八、收尾/停加热收尾是为了排除因晶体脱离液面而产生的位错，操作要求按执行收尾的成功否影响整支晶棒的成品率、其注意事项是

1.MOP由于单晶炉重量显示是依据晶体长度和直径推算出来的，所以收尾时应根据晶体长度和直径来估算是否可以进入收尾

1.1收尾前确定液面是否有结晶现象，一般在收尾过程中结晶点扩散结晶速度非常快，在收尾时操作员工要多观察炉内液面情况，如

1.2果温度较低、拉速长时间处于较高位、直径外形变形应该在收尾过程中适当增补温度优其是新手操作工一定要多观察、多请教正常收尾长度、形状必需符合工艺要求收半尾、短尾、未收尾、超长尾必需在记录本中说明原因，班长必需对收尾不佳造成的

1.3原因报知主管或工程师收尾过程中出现结晶点应严密监控，防止结晶粘连晶体造成晶体掉落和设备损伤

1.4在拉制中晶体出现断线决定取出时应从断线处收一短尾，长度约此目的是为了消除提断晶体时所产生的大量位错

1.580mm,当晶体脱离液面时进入停加热工序停加热工序主要是为了去除晶体从高温状态至冷却状态间所产生位错延伸和消除其它晶体应

2.力而采取的工序其工序按照执行MOP正常情况下加热功率要分时段缓慢降下来

2.1停加热后晶体必须按照规定的速度上升，不得快升和快降

2.2MOP冷却晶体时间要充分，不然会造成晶体内裂

2.3严格按时按规定打开炉室取棒

2.4

九、殿烧燃烧主要是为了提高石墨器件的纯度和测试设备在模拟高温下水、电、气运转情况操作按执行腰烧必需充分，不然直接影MOP响单晶生长能否顺利进行在每次燃烧时要经常观察各个电表是否有明显的波动并确定是否打火和接

1.1地现象每次燃烧必需详细记录温度信号值及电流、电压变化等燃烧时要检查单晶炉各个机械传动部分、出水管外表温度是否过高、温度信号强度大小比如上、下轴升降、旋转机构、炉筒、

1.2变压器、电极等维修修理不能即时反应性能的部分必需安排进行燃烧测试比如更换电极、焊补漏水处等

1.3・燃烧过程中若出现异常或电器报警应首先通知维修，待维修判别后方能进行停炉或进入下一步操作特殊紧急原因除外14燃烧时操作人员不得离开岗位以便及时发现问题,班长负有督促责任

1.5

十、^青扫每台单晶炉停机后要对热场进行清扫和检查,清扫工序按照执行MOP清扫石墨热场时必需戴上口罩和高温手套，防止高温灼伤

1.1清扫过程也是对整体热场检查的一个过程清扫并检查石墨件是否有打火、裂纹、淅硅、老化等现象

1.2每次清扫完毕后应对石墨甘竭螺栓、电极螺检、加热器螺栓进行紧固

1.3t清扫前先确认上一炉拉制是否顺利并重点检查可能出现问题的部位，以防下炉存在同样的问题

1.4。