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《知识介绍》课件ESD PPT本课件将介绍知识,涵盖静电放电的成因、危害、检测与测试方法、消ESD除技术、以及生产线静电控制方案等方面概述ESD定义重要性静电放电(,简称),是指由是电子制造业中常见的危害,会导致器件损坏、产品失效Electrostatic DischargeESD ESD于物体间电荷累积和释放而产生的瞬间放电现象,常发生在电子、生产效率降低等严重后果元件和设备之间发生的原因ESD摩擦起电感应起电电场耦合不同材料的物体接触摩擦后,会产生当带电物体靠近导体时,会使导体表在高压电场作用下,周围的物体也会电荷积累,导致静电电压上升面产生感应电荷,从而形成静电场被感应带电,从而产生静电带来的危害ESD器件损坏产品失效静电放电会导致器件内部电路烧静电放电会导致产品性能下降,毁,造成器件永久失效甚至无法正常工作,降低产品质量生产效率降低安全隐患ESD问题会导致产品返修率上升静电放电可能会引发火灾或爆炸,维修时间增加,从而降低生产事故,造成安全隐患效率发生的机理ESD电荷累积1当物体之间发生摩擦或接触时,电子会从一个物体转移到另一个物体,导致电荷积累电场形成2随着电荷积累,物体之间会形成静电场,场强取决于电荷量和距离放电现象3当静电场强达到一定程度时,空气被击穿,电子流快速流动,形成静电放电现象检测与测试方法ESD静电电压测试静电放电测试使用静电电压测试仪测量物体表面的利用静电放电测试仪模拟静电放电现静电电压,判断是否超过安全阈值象,评估器件或产品对ESD的抗扰能力人体静电测试测试人体与地面之间的静电电压,确保人体不会成为的来源ESD静电消除的基本原理中和电荷通过向带电物体注入等量异性电荷,抵消其静电荷,从而消除静电1降低电阻增加物体与地面之间的导电路径,降低静电电压,减少静电放电的可能性2屏蔽电场利用导电材料或金属网屏蔽带电物体产生的静电场,减少静电3影响静电消除技术分类离子风机1利用高压静电场产生带电离子,中和物体表面的静电荷离子棒2通过高压电极释放离子,中和物体表面的静电荷静电刷3利用静电刷将物体表面的静电荷转移到地面离子风机工作原理12高压发生器离子发射产生高压电场,将空气中的分子电离高压电场使空气中的分子电离成带电离子3中和静电带电离子被物体表面吸引,中和物体表面的静电荷离子风机应用场景电子产品组装印刷电路板生产半导体制造在电子产品组装过程中,防止静电损坏敏消除电路板表面的静电,提高产品质量避免静电影响芯片制造过程,保证芯片的感元件正常功能离子风机安全注意事项操作安全环境安全操作人员应注意安全防护,避免触碰高压部件避免在易燃易爆环境中使用离子风机,防止静电引发火灾或爆炸离子风机使用误区距离过远风口不准离子风机距离物体过远,离子离子风机风口未对准带电物体风力不足,无法有效消除静电,离子无法有效中和静电荷维护不当离子风机长时间使用后,需要定期清洁和维护,防止尘埃积累影响性能离子风机检查与维护定期清洁1定期清洁离子风机风口和机身,防止灰尘影响离子风力检查电压2定期检查高压发生器电压,确保电压稳定,防止设备损坏更换部件3定期更换离子风机耗材,如离子针和空气过滤器离子棒工作原理高压电极离子棒内部的高压电极产生高压电场,将空气中的分子电离离子释放带电离子从高压电极释放出来,形成离子风,中和物体表面的静电荷离子棒使用环境要求温度湿度离子棒适宜工作温度范围为℃~℃离子棒适宜工作湿度范围为~,避免潮湿环境影响性04020%80%能离子棒使用注意事项避免碰撞定期清洁离子棒结构脆弱,应避免碰撞,定期清洁离子棒表面,防止灰尘防止损坏电极影响离子释放离子棒检查与维护检查电压更换电极定期检查离子棒高压发生器电当离子棒电极表面出现氧化或压,确保电压稳定腐蚀现象时,及时更换电极静电产品应用案例分享半导体芯片生产液晶显示屏生产静电控制技术有效保证了芯片生产的良率和可靠性静电控制技术降低了液晶显示屏的缺陷率,提升产品质量静电控制的基本策略生产线静电控制关键技术接地1将设备和工作台接地,降低物体间的电位差屏蔽2使用金属屏蔽材料隔绝静电场,防止静电干扰中和3使用离子风机、离子棒等设备消除静电荷人员防护4使用防静电服、防静电手套等防护用品静电检测仪器设备介绍静电电压测试仪静电放电测试仪用于测量物体表面的静电电压用于模拟静电放电现象,测试产品抗能力ESD静电测试棒用于测试人体与地面之间的静电电压静电测试方法与标准测试方法测试标准常用的静电测试方法包括静电电压测试、静电放电测试、人体静常用的静电测试标准包括IEC61340-5-
1、MIL-STD-
1686、电测试等GB/T
2423.10等生产线静电分析诊断静电源识别1识别生产线中的静电源,例如摩擦、感应、电场耦合等静电路径分析2分析静电荷的传播路径,找到静电放电的风险点静电危害评估3评估静电放电对产品或人员的潜在危害静电防护方案设计原则全面性1静电防护方案应涵盖生产线的所有环节科学性2静电防护方案应基于科学的理论和技术,确保方案的可行性实用性3静电防护方案应易于实施和维护,确保实际应用效果静电防护方案实施步骤12方案设计设备选型根据生产线特点和静电风险,制定静根据方案要求,选择合适的静电检测电防护方案、消除设备34安装调试人员培训安装静电防护设备,并进行调试,确对操作人员进行静电防护知识培训,保设备正常运行提高防静电意识静电防护效果评估指标静电电压产品缺陷率测量物体表面的静电电压,判断静电防护效果评估静电防护方案对产品质量的影响静电防护管理体系建立组织架构制度规范建立静电防护管理组织,明确制定静电防护管理制度,规范责任和权限操作流程和管理方法文件记录建立静电防护管理文件,记录相关信息和数据静电防护培训与意识提升培训内容意识提升培训内容应涵盖ESD知识、静电防护技术、管理制度等方面通过培训和宣传,提高员工对静电的认识,增强防静电意识静电管理制度建立操作规程1制定操作规程,规范员工在生产过程中的防静电操作检测制度2建立静电检测制度,定期检测设备和人员的静电状态巡检制度3建立巡检制度,定期巡查生产线,发现问题及时解决静电防护技术未来发展智能化发展智能静电检测、消除设备,提高自动化和智能化水平小型化研发小型化、便携式的静电防护设备,方便操作和使用环保化开发环保型静电防护材料和技术,减少环境污染总结与展望是电子制造业中不可忽视的问题,需要重视静电防护技术,建立完善的ESD管理体系,才能有效降低带来的危害,提高产品质量,保障生产安全ESD。
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