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安全培训教程ESD欢电电训电业电护迎参加本次静放ESD安全培在子制造行中,静防是保障产质产关键环节课统绍础识品量和生安全的本程将系介ESD基知、危害、防护规帮您预电产质产措施及管理范,助在工作中有效防静事故,提高品量和生效率培训目的与意义提高产品良率降低成本损失提升品牌形象电电电业隐杀统计电业电损静放是子制造中的形手,据,子行每年因静坏造成够导损过经济损达数亿能致元器件坏或性能下降通的直接失高十元合理的统训帮员护显护仅减报废系培,助工掌握防技能,ESD防不能少返修和成本,电导产还产户满著降低因静致的品不良率能提高生效率和客意度培训对象与范围生产一线人员研发与工程技术人员电产负责产设计艺开发设备直接接触子元器件和品的操品、工和员维护师作人,包括SMT、DIP等工序的工程,需了解ESD原理员员护术产设计艺的操作、装配人和包装人和防技,在品和工员这岗电护规划阶护些位是静防的第一段融入ESD防理念,提线产电道防,需掌握日常操作中的高品抗静能力护ESD防要点质量与检验人员静电基本概念静电定义电过电电势个静是指物体表面存在剩荷而形成的能当两物体接触后时电从个转个导个带电分离,子会一物体移到另一物体,致一物体正个带负电荷,另一荷微观原理从观电层电转质微角度看,静是由于原子面的子移造成的物的原子带电带负电电组导电通常由正的原子核和的子成,当外部因素致子分时产电布不平衡,就会生静测量单位(静电放电)介绍ESD放电现象电积时释静累到一定程度的快速放形成机制电导电势间荷不平衡致高差瞬平衡潜在风险电损伤对子元器件造成不可逆电电带电间电产发电转现电环过电电静放ESD是指物体之因位差而生的突性荷移象在子制造境中,ESD主要通直接接触放、空气放和感应电种发值许发时为电阈值约远许电放三形式生尤其得注意的是,多ESD事件生人体无法感知,因人体感知静的3000V高于多子元件的损伤阈值可低至100V带电设备带电这电导电常见的ESD事件包括人体触摸元器件、未接地与元器件接触、材料靠近敏感器件等些看似微小的放事件,可能致产子品性能下降或完全失效电荷类型与产生方式负电荷正电荷获额电时当物体得外子形成,常见于橡电时胶当物体失去子形成,常见于尼龙、毛、塑料等材料发等材料摩擦起电种导电从两不同材料相互摩擦,致子种转种一材料移到另一材料感应起电分离起电带电况过电场响体在不接触的情下通影周围导电种紧时电物体,致荷再分布两密接触的材料突然分离,荷可时产电能无法及回流而生静生活中的静电现象日常触电体验塑料袋吸附现象自然界中的静电们脱纤从连闪电观电电现在干燥的冬季,当我下化衣物或塑料包装袋常常会粘在手上或互相粘,是自然界最壮的静放象云属时这为过产层动产内汽车上下来触摸金门把手,常常会感是因塑料材料容易通摩擦生静在空气流中生的摩擦使云部形成轻电击这为电导电进产这电电达临值时到微的是因人体在摩擦,致荷不平衡而生吸引力荷分离,当位差到界,就会过积电导时电种简单现电发规电转们程中累了静,当接触体,静看似的象与工厂中的静危害原生大模的荷移,形成我看到的释产电闪电迅速放生了微小的火花理相同能量与放电过程ESD电荷积累过积过电电通摩擦、分离等方式,物体表面累量荷,形成位差临界点突破电过质击电压时电开动当位差超空气或介的穿,子始加速移放电通道形成电导电电值达数续时间离气体形成通道,流峰可安培,持通常为纳级秒能量释放电过产电热释放程生磁脉冲,并伴随量、声音和光的放电子元器件对静电的敏感性类损阈值级别器件型典型坏敏感度极MOSFET晶体管100V-200V高电CMOS集成路200V-3000V高极GaAs器件100V-300V高处微理器500V-1500V中高极双型晶体管380V-7000V中电厚膜阻1000V-5000V低电减现电电别属氧导艺电栅极氧层纳极电击随着子元器件集成度提高和特征尺寸小,代子元件对静的敏感性越来越高特是基于金化物半体MOS工的集成路,其化厚度可能只有几米,易被静穿电结构艺关电为实际应终设电电护器件的静敏感性通常与其、制造工和功能有高速、高集成度和低功耗的元件往往对静更敏感在操作中,始假所有子元件都对静敏感,采取全面防措施静电对产品质量的影响灾难性失效损产元件完全坏,品无法正常工作参数漂移现为间元件性能下降,表不稳定或歇性故障潜伏性损伤过表面正常但可靠性降低,使用程中加速失效电电产响为类难数损伤难导产产测试阶静对子品的影通常分三灾性失效、参漂移和潜伏性灾性失效会致品完全无法工作,容易在生或发现数现为产给诊带难险损伤产段被;参漂移可能表品性能下降或功能不稳定,故障断来困;最危的是潜伏性,品初期可能正常工作,但显缩户过问题使用寿命著短,往往在客使用程中才暴露电损氧层击属连结构热损伤电这观损伤导电阈值电压静害的常见物理形式包括化穿、金互熔断、和表面荷注入等些微可能致漏流增加、时数变电异偏移、序参化等气特性常危害成本分析ESD亿30040%全球年损失失效率IC电损给电业带约亿电归电电静害每年全球子行来300美元工厂中集成路失效的40%可因于静放事经济损的直接失件倍5品牌影响户发现关处内客端的ESD相故障,理成本是工厂发现的5倍以上从业经营带损远损费迟户诉处企角度看,ESD来的失不止坏的元器件成本返修用、交付延、客投理、损间为观项业实护业减品牌形象受等接成本通常更可一行研究表明,全面施ESD防措施后,企可少质资报达15%-30%的量成本,投回率高5:1至10:1别值电产电压发特得注意的是,随着子品向小型化、高集成度和低方向展,元器件对ESD的敏感性不变电导值产报废断提高,使得有效的ESD管理得更加重要一次微小的静事件可能致整批高价品,对业严经济损企造成重失静电产生原因接触与分离种时电从种转种导电两不同材料接触后分离,子会一材料移到另一材料,致荷不这种产线输产员极为平衡机制在生上的材料送、品装配和人操作中常见摩擦转移种时电从种转种当两材料相互摩擦,表面子会一材料移到另一材料摩擦程度、环条响电转这传带动材料特性和境件都会影荷移的多少在送运和包装材料操作为显中尤明感应起电带电导发电时导带电体附近的体会生荷重分布,若此体接地,将形成与原体相反电导净电这种导电的荷当接地移除后,体保留荷机制在使用非材料的工作台设备围为和未接地周尤常见电场和离子污染电场带电带电压设备显经处外部和空气中的粒子可以使中性物体高、示器和未调统环电场污理的空系可能是工厂境中的和离子染源易受静电影响材料举例电环产电绝缘为险电电酯极产电氯子制造境中存在大量易生静的材料,其中体最危根据三宝气摩擦起序列,尼龙、羊毛、聚等材料易生正荷;而聚乙烯氟则倾带负电这电PVC、聚乙烯、特龙等材料向于荷些常见于包装、工装和工具中的材料是静危害的主要来源产环应别转胶带这没经过电处过在生境中,特注意塑料周箱、气泡膜、透明、塑料薄膜、普通工作服和手套等常见物品些日常用品如果有防静理,在使用程产数电电压电构严胁中可能生千伏的静,对子元器件成重威事件类型ESD人体模型放电器件充电模型机器模型HBM CDMMM拟带电电拟带电过拟动设备属模人体后触摸子元件的情模已的元器件通引脚接触模自化或金工具对元件况测试数为电况值为电数为电典型参人体容接地面的情典型容5-的放典型参机器容电电电电电过极电100pF,放阻
1.5kΩ,放波30pF,无限制阻,放程快200pF,几乎无阻(10Ω)数减线这这种动这种产电值形呈指衰曲是最常见的(小于1ns)模型在自化模型生的流峰很高,对测试护设备从时为击损伤为严ESD模型,也是制定防措施操作和元件料管滑出尤元件的冲性更重时虑的主要考因素重要电子产品常见失效模式ESD硬故障软故障潜伏性失效导难损伤数发变导险类响时指ESD事件致的灾性物理,使指参生化但未立即致功能完全最危的一,初期不影功能但随现丧损伤间恶元件完全失去功能常见表包括失的,包括推移会加速化•属迁•电•氧层金移和熔断漏流增加化弱化•结击•阈值电压•电阱PN穿偏移荷陷形成•栅极氧层击•输变•纹扩化穿入阻抗化微裂展•键线•时数•属连应损伤合熔断序参退化金互力设备级静电损害案例芯片角部熔损走线烧蚀元件表面击穿PCB这个电损伤产线属电动设备过是一典型的人体模型放案例生上使用未接地的金工具操作路自化在放置元件程中未正确接员带导电电电产电电电过操作人未正确佩戴手腕,直接接触了板,致机器模型放事件由于放地,生器件充模型放静通元导约电达细线间电击护层虽电CMOS芯片引脚,致2000V的静通流高3A,PCB表面的微走被瞬件表面放,穿了保涂,然阻过电电镜显护烧蚀开这种损伤检测值变时间环芯片角部放分析示芯片保,形成路在光学中未立即化,但随着使用增加,极内属层发迁发现细内层损伤则湿损伤终导产户二管完全熔融,部金生移,容易被,但更微的需要境气渗入点,最致品在客产专业设备检测现场品完全失效失效隐性危害及产线难察觉问题超出人体感知参数轻微漂移级别电损伤电损伤仅导100V的放足以敏感元件,静可能致10-20%的性能下阈值为规测试难检但人体感知3000V以上降,常以出间歇性问题延迟显现故障损伤温湿响导产结构测试时过区域受度度影,致品表弱化的在出厂可通,但在现难复现环不稳定且以使用境中加速劣化检测与测量技术介绍ESD静电电压测量仪测电电压测围为检测用于非接触式量物体表面静,量范通常±1V至±20kV适用于工作台面、地板、包电电压评电现仪备数记录监测环装材料等表面的静,估静控制措施的有效性代器通常配据功能,可长期电况境静情表面电阻电阻率测试仪/测电电电电电用于量防静材料的阻特性,包括点对点阻和点对地阻对于防静地板、工作台面和包装材料,电应欧围内既电导电击险理想的表面阻在10^6-10^9姆范,能有效泄放静又不会致危腕带鞋套测试仪/验证测试标带总电间电人体接地装置的有效性准通常要求腕阻包括人体在
0.8MΩ至10MΩ之;防静鞋电过这应该进测试连续的最大阻不超35MΩ些装置在每次使用前行,确保接地性离子风机平衡度检测仪测产状态电优质应围内负量离子风机生的离子平衡和静消除速度的离子风机能在±10V范平衡正离子,内电检测并能在2-3秒将1000V静消除至100V以下定期可确保离子风机性能稳定企业事故统计数据ESD危害的合规要求ESD国际标准认电护标详细规ANSI/ESD S
20.20和IEC61340系列是全球公的静防准,定了ESD项设计实监这标仅护设备员护控制目的、施和督要求些准不对防区、接地、人防规还验证监等做出定,提供了和控方法行业规范电务业协导设备协业组织子制造服EMS行会、半体制造商会SEMI等行也制护这业规针艺产类定了具体的ESD防要求,些行范通常对特定工或品型提供更详细导的指客户要求电华为应严规主要的子品牌商如苹果、、三星等对其供商有格的ESD合要求,为应资质认证环节这标严通常作供商的重要些要求可能比通用准更格,且监数内涵盖控和据管理等更广泛的容内部标准优业际标户结产严秀企通常会基于国准和客要求,合自身生特点制定更内标电护这仅满规格的部ESD管理准,形成全面的静防体系不足合需为质续进驱动求,也成量管理和持改的力防护总体思路ESD综合防护机制护建立全面防体系风险预防管理动识别隐主并消除患人员意识培养员护全参与ESD防标准化程序严规格按程操作持续改进机制优护不断化防措施护预为护应环湿电设备统导电员ESD防的核心理念是防主,全面控制有效的防体系包括三大要素境控制如度管理、防静地板、离子平衡、控制如接地系、工具和人控制电这护络如防静服装、正确操作程序三大要素相互配合,形成完整的防网实过应电电电电导则优电过电设备在具体施程中,遵循静消除、静隔离、静中和、静引的基本原先采用消除静源的方法,其次是通防静材料隔离敏感器件,再次是利用离子化产电过统导电电中和已生的静,最后通接地系安全引静荷生产现场防护区域定义ESD非区域ESD实电护处未施静防措施的普通区域,禁止理敏感器件过渡区域进备备测试设备验证护备入EPA前的准区域,配防装区域EPA电护实护许静防区,施全面防措施,允操作敏感器件超净EPA专实严护高敏感性器件用区,施更格的防措施电护设备员电护进静防区EPA是指所有表面、工具、和人都受到静防管控的特定区域入EPA区须电带带经测试进内域必穿戴合格的防静工作服、手腕或脚跟,合格后方可入EPA区域的所有物须电质经过电处储品都必是防静材或防静理,例如工作台、存架、包装材料等应标识边间标识带颜应设测试EPA区域有明确的和界,通常用黄黑相的或地面色区分区域入口置验证员护备产设级实站,用于人防装的有效性对于不同敏感度的品,可以置不同等的EPA区域,异施差化管理接地系统ESD功能性接地1设备电统电欧内用于工作台、、地板等静泄放的接地系,阻通常控制在10^6姆以,电够积险确保静能安全泄放而不会累到危水平共点接地连统总线环减将所有ESD接地点接到一的接地或接地柱,避免形成接地路,少接地阻异这种个护电电抗差方式有助于保持整防区域的等位,防止局部放设备接地产设备应专线电欧别动设备测试仪生的接地采用用接地,阻不大于1姆特是自化、设备须设备为电器等直接接触敏感器件的,必确保可靠接地,防止本身成静源接地监测4统应检查测试连续电值关键产接地系定期,至少每月一次接地点的性和阻对于生区议监测统实时监状态发现异报域,建安装接地系,控接地,常立即警防静电地板及地垫材质与类型技术规格安装与维护电类导电电应数电项专业防静地板主要有三型、耗散合格的防静地板符合以下核心参防静地板的安装是一工作,必电屏导电须经验员型和静蔽型其中,型主要用要求由丰富的人完成主要注意事数艺项于据中心和特殊工区;耗散型最常•电包括电产电屏则点对点阻
2.5×10^4至1×10^9用于一般子生区域;静蔽型欧•础处别导洁净姆基理确保基面平整干燥用于特敏感的区域,如半体•电•导电铜碳纤维点对地阻
2.5×10^4至1×10^9网格正确布置网或室欧姆网•复经济维护简PVC合地板耐用,•积电欧•连连专单体阻率小于1×10^9姆·厘接地接可靠接到用ESD接米地点•环氧树缝连洁净脂地坪无接,度•电减从减时•测试检测电值静衰1000V衰到100V定期每季度全面阻间高•洁专洁剂小于2秒•胶垫日常清使用用清,避免橡地局部区域使用,易于更•电压产测质产换表面生小于100V(行走蜡品试)防静电工作台架台面材料要求接地配置工具与附件层结构层为个须设个须电工作台面通常采用三表每工作台必有至少一接地点,工作台上使用的工具必是防静或电层压个个导电质锈钢镊电耗散型材料(如防静板),中通常在台面上安装一或多接地端材,如不子、防静刷间为导电层层为绝缘连带记录纸应,底材料台面子,用于接腕和其他接地装置子等需要用到的文件和放电应欧围线应连专统电夹表面阻在10^6至10^9姆范接地接到ESD用接地系,在防静文件中,避免普通塑料文内既电电夹产电应,能有效泄放静,又不会对元而非普通源插座的接地端接地点件在台面上摩擦生静台面险应标识测试电值洁器件造成短路风清晰,定期阻保持整,避免非必要物品堆放防静电服装及手套面料技术穿着规范手套选择优质电导电纤维织电须个选择导电防静服装通常采用网格防静服装必完全覆盖人衣物,袖口根据不同工作需求,可指尖型、结构连续导电络摆应贴时应肤导电入面料的,形成的网常和下合身体穿着确保皮全掌型或耗散型手套指尖型适合需导电纤维碳纤维锈钢纤维导电纤维细导电见的包括、不和(如手腕)与直接接触,以形成要精操作的工作;全掌型适合大面镀银纤维这种设计电够径须紧积场则使荷能均匀分布有效的人体接地路服装必扣所有接触敏感元件的合;耗散型用于不时纽裤维电积环并安全泄放,同保持服装的舒适性和透扣,不得卷起袖子或腿,以持完整直接接触敏感器件但需防止静累的电护气性的静防效果境手腕带与鞋套ESD手腕带类型连接与阻值防静电鞋鞋套/带为线线种带内电为电为导电手腕分有和无两有手腕置限流阻通常防静鞋的底部材料或耗线带过线缆连既电护电手腕通直接接到接1MΩ,能泄放静又能保散型材料,能与防静地板形成径标带总电应地点,提供最可靠的接地路;佩戴者安全准要求手腕接地回路鞋底阻在10^5至线带则过电电欧围内无手腕通防静鞋与地阻包括人体在
0.8MΩ至10^8姆范一次性鞋套适频间线应临时进员面形成接地回路,适用于需要10MΩ之接地采用螺旋用于入EPA区域的人,动场种类缩设计减缠绕险头专电繁移的合两型都需要伸,少风,接但效果不如用防静鞋可靠,属肤应应频进测试验证金部分与皮直接接触牢固可靠更繁地行测试频率带应测试手腕在每次使用前,可专测试仪使用用或在工作台接地测电应点上自防静鞋/鞋套至少进测试每天入EPA区域前一次,进高敏感区域可能要求每次入前进测试测试记录应都行妥善保为质存,作量管理的依据离子风机应用工作原理过压电极产负带电电通高生正离子中和体表面荷设备选型悬区域大小、挂高度与气流速度匹配平衡性能维内离子平衡度持在±10V以最佳维护保养洁电极针滤定期清和网确保稳定性能电别壳产绝缘线动质应内离子风机是中和无法接地物体表面静的有效工具,特适用于塑料外品、材料和流水上移的物品高品的离子风机能在2-3秒将1000V的电电压维状态静降至100V以下,且持物体表面在±10V的平衡选时虑悬动设备内维护证在型与安装,需考覆盖区域、安装高度和气流速度挂式适合工作台区域,立柱式适合更大的区域,嵌入式适合自化部定期是保其关键洁电极针尘积导电换滤尘污产性能的,包括清避免灰累致放不均和更网防止灰染品防静电包装材料电为类电电电屏挡电场导电笼护电屏层构防静包装材料根据功能可分三静耗散型用于泄放静、静蔽型阻外部和型形成法拉第保最常用的防静蔽袋由多材料成,层酯间属层内层电屏达电场包括外聚薄膜、中金化和抗静聚乙烯,能有效蔽高12kV的静进须电纸应验电时应检查电所有入EPA区域的包装材料都必是防静的,普通泡沫塑料、气泡膜和板箱都禁止使用在收防静包装材料,表面阻通常要求在10^4至欧围内电减屏应标识标识应10^11姆范、静衰性能和蔽效果包装材料有清晰的ESD,且保持不褪色产品运输过程控制ESD内层包装电产内层须电电电直接接触子品的包装必使用防静材料,如防静袋、防静泡棉或防静电纸应属屏进输过对于高度敏感的元器件,使用金蔽袋并行真空封装,防止运程中产电组间应电的摩擦生静件之使用防静分隔物,避免相互接触和摩擦中层固定产内应电导电电垫这品在包装盒的固定使用防静材料,如泡棉、防静气膜等些材仅护还产输过动产电设计料不提供物理保,能防止品在运程中因振摩擦生静固定应产内动转使品完全稳定,不能在包装晃或翻外层防护纸内应贴电层铝别外包装箱可使用普通箱,但表面覆防静涂或箔对于特敏感产属屏护须标电的品,可使用全金外箱提供完整的蔽保外包装必清晰示静设备标签输货员处敏感警示,提醒运和收人小心理物流管控专电产规专输规检制定门的静敏感品物流程,包括用运工具、操作范和交接查项训员电护识别过项目培物流人基本静防知,特是装卸程中的注意事湿节应层电层产既带在潮季,注意防水与防静的平衡,确保品不受潮又不电生产工具与治具防护手工工具生产治具检测与维护须设计须虑电护电检测在EPA区域使用的所有手工工具必是治具必考静防要求,防止建立工具治具防静性能制度,确导电电质产产过带电或防静材品在生程中保长期有效•镊属应锈•载优选属电•验须测试电值电子、剪刀等金工具使用不具材料先用金或防静塑新工具收必阻和静钢质检查电值产况材,并定期阻料生情•丝应导电•须•编码检测记录螺刀手柄采用塑料或包覆所有治具必有明确的接地点建立工具和定期导电胶•绝缘时应电•电欧套使用材料,表面覆盖静制定工具表面静阻小于10^9姆•测应专电层量工具如卡尺有用防静涂耗散的要求层•锐边缘减电•损应换去除尖,少荷聚集点工具表面磨后立即更或重新•须严进处普通塑料工具必格禁止入理EPA区域环境温湿度控制湿产电电压相对度%生的静V检测与巡检ESD日常检查现场员进视检查认关键设备带测试仪每日由管理人行目,确如手腕、离子风机等工作正常,防静电规边标识关临时员护工作服穿戴范,EPA区域界清晰重点注新引入物料和人的防措施周度检测专员进样检测内带带电电每周由ESD行抽,容包括手腕/脚跟阻、工作台面阻、离子风机平衡度专业测试设备记录数发现异处复检认等使用据,常立即理,并在次日确整改效果月度全检质组织检测电设备连续标每月由量部门全面,包括地板阻、接地性、包装材料性能等使用准方进测测试测试法行量,如ANSI/ESD STM
7.1地板方法、IEC61340-4-1包装材料方法等季度审计进统审计档检查员训记录设备证书时查每季度行一次全面ESD系,包括文、人培、校准等同抽关键护执况历数进趋势审计报工序的防措施行情,并与史据比对分析改,形成正式告培训与员工意识提升ESD初级培训实操训练针员础识过现场实际养对新工的ESD基知教育,重点通演示和操作培正确的防讲电护电习惯解静危害和基本防措施静工作定期复训专业认证员识针关键岗专业识训认每年至少一次全ESD知更新与考对位的ESD知培与识证协调员资核,确保意不淡化,如ESD格管理制度与持续改进管理委员会ESD员层协调员员负建立跨部门的ESD管理委会,由高管理者担任主席,各部门指定ESD参与委会责协调资审查动进项员应开讨论制定整体策略、源分配、工作成效和推改目委会每月召例会,关问题进ESD相和改方向文件化管理体系规检测标记录建立完整的ESD管理文件体系,包括ESD控制手册、操作程、准和表格所有文件应纳统评审个岗护为入公司文件控制系,定期更新确保每工作位都有明确的ESD防要求,作培训和考核的依据数据分析与改进统关数检测结统计户诉统计识别趋系收集和分析ESD相据,包括果、不合格、客投等利用工具势关联环节进进项问题决验和性,找出薄弱和改机会建立改目跟踪机制,确保得到有效解,并证进续改效果的持性绩效评估机制护现纳个绩评责奖惩现优将ESD防表入部门和人效估体系,明确任和措施定期公布ESD表秀的个实践严违规为应处惩部门和人,分享最佳对于重反ESD程的行,有明确的理流程和戒措施,员责识强化全任意国际标准简介ESD系列ANSI/ESD S
20.20IEC61340标协发电护标际电员发电护美国国家准会布的静防国工委会IEC布的静防称为电电项开标该准,全《静放控制目的系列准,全球广泛采用系列包发该标为电组个电测》准子件制造商和使含多部分,覆盖了静量方法、实维护护应护用方提供了建立、施和ESD控防要求、特定用的防指南等项关键电设备电制目的要求和指南其要求包其中IEC61340-5-1《子静统员护护标括接地系、人接地、防区域防-通用要求》是主要的管理体系设规项EPA置、包装要求等当前最新准,定了ESD控制目的基本要求为验证该标调险版本ANSI/ESD S
20.20-2021,适和方法准强基于风的处业产用于理100V人体模型敏感度或更高管理方法,要求企根据品敏感度电护的子元件确定适当的防水平标准JEDEC联电设备员导业标处由合子工程委会JEDEC制定的半体行准,其中JESD625《理静电专针导处测试过该标洁净环敏感器件的要求》门对半体器件的理和程准对室境中护严艺设备电护设计的ESD防提出了更格的要求,包括特殊工的静防、超敏感器件的该标标补构护操作程序等准与ANSI和IEC准相互充,共同成了全面的防体系框架国内相关标准ESD标编标称内准号准名核心容电联艺电电过护总GB/T24299-2009子装工中静放控制造程ESD防体要求纲制大电术设验证GB/T28000-2011防静工作区技要求EPA区域置与方法电术类测试GB/T12845-2018防静包装材料通用技要包装材料分与方法求电术条标GB/T4208-2017防静工作服通用技件服装材料与性能准电产应统电业专SJ/T11294-2003子品制造与用系静子行用ESD控制指南电电放控制指南电规设计测试SJ20001-1995防静工作台通用范工作台与方法标标业标组内标总际标中国的ESD准体系主要由国家准GB/T和行准SJ/T成国准体上与国准保持业实际况详细规一致,但更加符合中国制造的情,在某些方面有更的操作性定电业发内标标较旧近年来,随着子制造的快速展,国准的更新速度有所提高,但仍存在部分准版本的况实际应许导业时际标内标满户情在用中,多出口向的企往往同遵循国准和国准,以足不同客的要求行业合规认证ESD准备阶段规记录建立ESD管理体系文件,包括管理手册、操作程和表格内部审核组织内专业员进预审发现纠项部ESD人行全面,并正不符合认证机构评审认认证构进现场审评由ANSI/ESD或IEC可的第三方机行核与估获得认证过评审获认证证书为通后得正式,有效期通常3年持续维护监审续进每年接受督核,保持管理体系的有效运行和持改品牌客户要求ESD苹果供应商要求华为质量规范三星半导体标准应极为严华为层级产导护极苹果公司对供商的ESD要求格,对ESD管理采用化要求,根据三星的半体制造对ESD防有高要远标们为个级务别进艺节超ANSI/ESD S
20.20准他要求品敏感度分三等对于高端服器求,特是对于先工点的芯片他内电压内设备应们洁净内电电过EPA区域表面控制在±25V以而和通信,要求供商建立完整的ESD要求室所有表面静位不超标为统记录个产产过员须洁净准要求±100V,离子平衡度在±5V事件追溯系,每品在生程±10V,工作人必穿着全套防静围内应须实监经历电环华为调护电罩层还别范供商必施全面的控系中的静境此外,强防服,包括面和双手套三星特统时记录关键环数验证应进产调产关联,24小区域的境参和静措施有效性,要求供商定期行强ESD控制与品良率的分析,要电传质统样应测试拟实际应证进产水平,并上至苹果的量管理系品抽ESD力,模操作中可求供商明ESD控制措施的改对品电质响能遇到的静水平量的正面影生产车间合规整改经验案例背景整改措施整改成效费电际订单统验证结显某消子代工厂在接到国品牌厂方采取了系性整改方案整改完成后的果示个内个产间后,需要在3月完成整生车•设计统•电监测频护级满户重新接地系,采用共点式接静事件率降低94%的ESD防升,以足客•产过标认证地方案品一次通率提高
2.5%ANSI/ESD S
20.20准要求原有•铺设电导进间项项规•户电关新的防静地板,入区域车存在多不符合,包括不范的客端静相故障率下降82%颜统行色区分•过认证获户认接地系、普通工作台、无分区管理等成功通第三方,得客问题•换为标电更所有工作台准防静台面可•优关•电损约安装离子风机,化布局以覆盖静失成本年降低250万元键区域•测试备带建立出入区站,配手腕和测试设备鞋套•实严电规施格的防静工装穿戴范并训加强培重大事故剖析ESD事件描述产产发现达远2021年某知名手机制造商在新品量初期大量主板失效,返修率高
3.2%,超正常水平为应处经济损小于
0.5%特征主板上的用理器AP工作不稳定或完全失效,造成直接失近千万迟产时间元,并延了品上市调查过程联调查组质团队应师过样进显检查成立合,包括制造商量和芯片供商工程通对失效品行光学微发现缓扫电镜进认损和截面分析,AP芯片的I/O冲区有微小熔融痕迹使用描一步确是典型的ESD伤时产线进审计发现动测试设备针异特征同对生行全面ESD,自ATE的探卡接地常根因分析进调查认测试设备线损导针测试过一步确,故障源于工序中使用的ATE接地磨断裂,致探卡在程中积电针时发电电间电损伤累静当探接触芯片引脚,生CDM器件充模型放,瞬流了AP芯片的保护电维记录显设备线动损检查发现问题路修示,接地因长期震而坏,但日常未能解决措施实纠换测试设备线动设计立即施了一系列正措施1更所有的接地,并改用抗振;2增加每班次测试设备连续检查测试设备电监测报订设备预维护计对的接地性;3在上安装静警器;4修防性划统纳检查项员识训调异况报,将接地系入重点目;5加强操作人ESD意培,强常情告的重要性业界最佳实践分享10V100%表面电压控制全自动监测进圆实现极电环关键实时电监先晶厂低静境区域静水平控
99.9%合规率目标严执续验证护格行并持防措施领导圆层电为个业树标们内全球先的半体晶厂采用了多次防静策略,整行立了杆他将EPA区域的静电远标电压内标仅别值鉴们控制超准要求,表面控制在±10V以而准要求±100V特得借的是他的过个艺骤详细电险护统程化控制方法,每工步都有的静风分析和特定防措施,而不是采用一的通用方案进业还实监测络关键电场监测仪时记录数先企施了全面的网,在区域安装静,24小和分析据,形成可视预设阈值统报启动应们训统极为化管理平台一旦超出,系立即警并急程序他的培系也完善,采级训针岗设计专课内过识应这用分培模式,对不同位门的程容,并通定期考核确保知得到用些最佳实践虽较过显产获报然投入大,但通著提高品良率和可靠性得了丰厚回产线智能化管理探索ESD传感网络数据分析平台自动化干预产线关键数检测电险时在生位置部署静建立集中式ESD据管理当到静风,系电场传湿传统发动预强感器、度感平台,收集和分析来自各可触自干措施监测设备构个传过动调节器和接地,建感器的信息通大例如,自局部离子数络数术识别电输启动辅全面的据采集网先据分析技,静风机的出功率,进传够实时检测环关联湿暂感器能事件的模式和因素,助加装置,或停特定电过设设备环设备险境静水平,一旦超如特定工序、或境操作直至风消除阈值发报条电关这种动预减定立即触警系件与静水平的系自化干大大少统还监测员统还趋势图监时可人接地装置系能生成表,了人工督的需求,同连续护帮预测问题响应的性,确保防措施助管理者潜在提高了速度和一致性预有效运行并制定防措施移动管理应用开发动应移端ESD管理用,员时产使管理人随了解生线电状况应实静用提供时报电警推送、区域静地图显历数查询示和史据功现场员还过应能人可通记录检查结传异用果、上况查阅常情照片和操作指导实现动,管理的移化和时即化客户验厂常见问题ESD接地系统不完整1许统值过问题电径验员多工厂的接地系存在断点或阻高的,无法形成有效的静泄放路厂人专业设备测试从连续总值值欧议通常会使用工作台到主接地点的性和阻,要求阻低于1姆建检查连别动线连损况定期所有接地接点,特是活部件如地接器的磨情防护设施使用不规范2问题带肤开启电垫常见包括手腕未正确佩戴未直接接触皮、离子风机位置不当或未、防静台应详细规过训检查执验上堆放非必要物品等制定的操作程,并通定期培和确保行到位厂应进查纠规为前行全面自,正不范行文档与记录不完善3关键检测记录项验时户缺乏完整的ESD管理文件体系或缺失是常见的扣分厂客会要求提供近检测记录设备证书训记录议统档记期的、校准、培等建建立系化的文管理体系,确保所有录时填归档查阅及写、并方便临时措施与长期解决方案混淆4验临时实护户够过检查一些工厂在厂前施防措施,但缺乏长期有效的管理机制客通常能通设备询问现场员识别这类问题护使用痕迹、人等方式正确做法是将ESD防融入日常管理,建续进应立持改的文化,而非付性整改培训内容小结静电基础与危害电产电产损理解静生机制和对子品的害防护措施与标准个护掌握EPA区域布置和人防要点人员规范与责任养习惯护识培正确操作和防意管理体系与持续改进护实建立长效机制确保防措施落过训们统习电电概产电电电设员通本次培,我系学了静放ESD的基本念、生机制和危害,了解了子元器件的静敏感性及不同放模型重点掌握了EPA区域置、人防护备选择设备实护术时们习内标规认证为业础装使用、材料和接地等用防技同,我也学了国外ESD准要求和合流程,提升企ESD管理水平奠定了基请记电虽电产损实实护环设备员协护须住以下核心要点静危害然看不见摸不着,但对子品的害是在在的;有效的ESD防需要境、和人三方面的同;防措施必制度化、规续进个护责从养习惯识应构产环范化并持改;每人都是ESD防的任人,需要自身做起,培良好的操作希望大家将所学知用到日常工作中,共同建安全高效的生境实操演示安排ESD防静电手腕带使用们带属肤带紧我将演示手腕的正确佩戴方法,确保金部分与皮直接接触,腕松适中使用测试仪验证带标为总电间别连线手腕的有效性,合格准阻在
0.8MΩ至10MΩ之特注意接脱的插入方式和固定方法,防止工作中意外落防静电服装穿戴电顺应个将展示防静工作服、手套和帽子的正确穿戴序工作服完全覆盖人衣物,所须应贴电进测试检查电有扣子必扣好,袖口合手腕防静手套使用前需行,表面阻是许围内员亲尝试导纠否在允范学将有机会自并接受指正工作台操作规范标电们处从电在准防静工作台上,我将演示正确的元器件理流程,包括防静包装取别调应纸张出元件、在工作台上放置和操作的正确方式特强不将普通塑料、等非电导电防静材料放在工作台上,以及如何使用工具和离子风机测量设备使用员习电测试仪电电压测仪测试仪专业设学将学使用表面阻、静量和离子平衡等备们测数读记录员我将演示正确的量方法、据取和方式每位学都有机会在师导进实际测结数异时处工程指下行量并分析果,了解据常的理流程常见问答环节离子风机和加湿器如何选择?普通塑料与防静电塑料如何区分?电别湿过电须过专业设备测电积电离子风机适用于局部区域的快速静中和,特是不可接地物体表面;而加器通提肉眼无法可靠区分普通塑料和防静塑料,必通量表面阻或体阻环湿电产选择决产环产电导电剂碳属纤维电高境度,降低整体静生的可能性具体取于生境和品特性对于率防静塑料通常添加了(如粉或金),表面阻在10^6至10^11议优产间湿欧围内标电应标识标标电样高度敏感的小型元件操作区域,建先使用离子风机;对于大型生车,中央加姆范准防静材料有明确,如ESD志或注防静字在采统经济况种结购时应应测试报时进验测试系更有效理想情下,两方法合使用效果最佳,要求供商提供告,必要行收手腕带多久更换一次?静电屏蔽袋重复使用有效吗?带没换状况检测结决说带带电屏则复严属屏现手腕有固定的更周期,而是基于使用和果定一般来,腕体静蔽袋原上可以重使用,但有格限制金化蔽袋一旦出折痕、穿孔或织约个检查损况连线约个检查绝缘层头状损屏议经济复的物部分3-6月需要磨情;接6-12月需要和插磨,蔽效果会大幅下降建敏感型元件的包装袋不要重使用;中等敏感性况关键进电连续测试测试发现损伤应复应测试电屏发是每天使用前行气性,一旦不合格或物理,立即元件的包装袋最多重使用2-3次,且每次使用前表面阻和蔽效果如果换温湿环带换频应现属层显损伤污应更高高境下使用的腕,更率适当增加袋体金有明或染,立即停止使用培训考核说明理论考核实操考核评分与反馈论闭笔试满实现场头问满评论实总理考核采用卷形式,分100操考核采用操作+口提形式,考核采用百分制分,理和操各占数为试组数为内绩结个内分,及格分80分卷由以下部分分100分,及格分85分考核容包成的50%考核果将在3工作日详细评馈成括公布,并提供的分反,包括•单项选择题测试础识•护备•优势项进项30分ESD基知防装正确穿戴25分目和需改目分析•测试设备数读•错误纠议使用与据解25分常见和正建•项选择题测试护术••针习资多20分防技理解元器件正确操作流程25分对性的学源推荐•异况识别处•续训常情与理25分后跟踪培安排•题测试规识判断20分范意员钟时间过员补•简题测试综应每位学有15分的操作,考官将全对于未通考核的学,将安排一次考答30分合用能力观记录细节别补针辅导连续程察并操作特注重操作的机会,考前会提供对性两试时间为钟许计规练处发况过员训课考60分,允使用算器但不范性、熟度和理突情的能力次未通的学,需重新参加完整培讯设备别关关键得使用手机等通特注对程概实际问题念的理解和的分析能力合格证书发放机制考核通过证书颁发1论实试达标获护认证证书理与操考均到合格准2得ESD防,有效期一年定期复训工作实践证书复训过应识到期前参加并通考核更新在日常工作中用所学知和技能训过员获颁发护资质证书为证书为个级级员级术员组级完成培并通考核的学将得公司的《ESD防》,有效期一年分三等初操作人、中技人/长和高ESD协调员岗职责绩级证书记录训内绩为权职业发,根据位和考核成确定等将培容、考核成和特殊技能,作工作授和展的重要参考证书权应级设备权证书届满个统动复训复训内持有者将被授在相等的EPA区域工作,并享有使用特定和材料的限有效期前一月,系将自提醒参加容包括最标术进规变识续连续证书员获护专称级训新准更新、技展和公司范化,确保知与技能持更新三年保持有效的工,将得ESD防家号,并有机会参与高培和改进项目结束与展望建立基础防护设设备员训完成施配置与人基本培量化管理提升实现数监测续进据与持改机制卓越文化ESD员预形成全参与的防性管理文化谢训过统习们电认识护术训感各位参加本次ESD安全培通系学,我对静危害有了深入,掌握了防技和管理方法但培只是起点,真正的挑战在于将识转为习惯续进们标仅满规为业质竞所学知化日常工作,并持改我的目不是足合要求,更是打造卓越的ESD管理体系,企降低成本、提高量、增强争力电产电压发护进们习术标未来,随着子品向更高集成度和更低工作展,ESD防的重要性将一步提升我需要不断学新技、新准,探索更智能化的管理觉营产环让护为们业组为显专业方式希望各位在工作中保持警,互相提醒,共同造安全高效的生境ESD防成我企文化的重要成部分,成彰水准的闪亮名片。
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