碳化硅培训课件

碳化硅（）培训课件SiC欢迎参加本次碳化硅（SiC）培训课程本课件全面覆盖SiC的基础原理、核心器件、关键应用场景及未来发展趋势，融合了2025年最新的产业、技术与市场数据碳化硅作为第三代半导体材料，正在引领功率电子领域的技术革命，其独特的宽禁带特性使其在高温、高压、高频应用中展现出卓越性能通过本次培训，您将系统了解碳化硅产业链的各个环节，把握行业最新动态目录基础知识概述、发展历程、物理特性产业与工艺产业格局、制备工艺、材料特性器件与应用核心器件、应用场景、案例分析前沿与展望技术进展、安全环保、未来趋势第一部分概述与发展历程材料定义由碳、硅元素组成的宽禁带半导体材料历史起源1826年首次制得，1990年代开始商业化应用技术定位被誉为第三代半导体材料的核心代表碳化硅是一种由碳和硅元素以共价键结合形成的化合物半导体材料作为典型的宽禁带半导体，它具有优异的物理化学性能碳化硅的发展历程跨越了近两个世纪，从1826年首次人工合成，到1990年代开始在工业领域实现商业化应用，见证了半导体科技的演进历程为何成为第三代半导体SiC第三代、、₂₃SiC GaNGa O宽禁带、高击穿场强、高热导率第二代、GaAs InP高频性能、光电特性突出第一代、Si Ge3成熟工艺、低成本、大规模集成半导体材料的发展经历了三代演进第一代以硅（Si）为代表，奠定了现代电子工业基础；第二代以砷化镓（GaAs）为代表，提升了通信与光电领域性能作为第三代半导体材料，碳化硅凭借其宽禁带（约

3.3eV，是硅的三倍）、高击穿电场强度和优异的热导率脱颖而出全球产业格局SiC产业链分布SiC下游系统应用与集成中游外延、生片、器件将碳化硅器件应用于新能源汽车、光伏逆变上游单晶材料生长外延生长、芯片设计与制造，包括MOSFET、器、充电桩、高频电源等终端产品终端应碳化硅单晶生长、晶片加工、抛光处理，技肖特基二极管等器件制备该环节关系产品用广泛，市场规模庞大，驱动上游材料与器术门槛最高，产业集中度高主要企业包括性能与成本，技术复杂度高代表企业有件发展Wolfspeed、II-VI、天岳先进等衬底尺寸已Rohm、Infineon、安森美、三安集成等从4英寸向6-8英寸发展产业发展关键节点SiC年1826瑞典化学家耶尔策柳斯首次合成碳化硅晶体年2001首次实现6英寸SiC晶圆量产，规模化应用开始3年20178英寸SiC晶圆研发成功，产业化进程提速年起2023中国SiC产业链国产化进程加速，自主创新成果涌现回顾碳化硅产业发展历程，1826年的首次合成奠定了基础，但直到20世纪末才开始产业化应用2001年6英寸晶圆量产是产业发展的重要里程碑，标志着规模化应用的开始2017年8英寸SiC晶圆技术突破，极大提升了生产效率和降低成本全球中国主要厂商一览SiC第二部分物理与化学特性SiC多样晶型晶体结构电子特性碳化硅存在超过250种晶型多态，包括4H-由碳原子和硅原子以sp³杂化轨道形成强共价4H-SiC沿晶体c轴方向的电子迁移率可达800SiC、6H-SiC、3C-SiC等每种晶型具有独特键，晶格堆垛各异4H-SiC的c轴方向每四个cm²/V·s，优于其他多型体，这使其在高频高的堆垛顺序和物理特性，其中4H-SiC因具有双原子层重复一次排列顺序，形成六方晶系压器件应用中表现出色，成为现代SiC制程的最佳电子迁移率而成为商业应用主流结构首选材料物理特性参数对比SiC vsSi vsGaN物理参数4H-SiC SiGaN禁带宽度eV

3.

31.

13.4击穿电场MV/cm

2.

50.

33.3热导率W/cm·K

4.

91.

51.3电子迁移率90014002000cm²/V·s饱和电子速度

2.

01.

02.5×10⁷cm/s通过物理特性参数对比，可清晰看出SiC相对于传统硅材料的显著优势SiC的禁带宽度（

3.3eV）几乎是硅的三倍，这使其具有更低的漏电流和更高的温度耐受性SiC的击穿电场强度（

2.5MV/cm）是硅的8倍多，支持更高电压应用的机械与化学稳定性SiC超高硬度莫氏硬度

9.3，接近金刚石

（10），在半导体材料中居首位化学惰性对大多数酸碱溶液表现出极强的抗腐蚀性，在900℃以下几乎不被氧化高温稳定性熔点约2700℃，在极端环境下仍保持机械强度和电性能抗辐射性能对核辐射具有出色的抵抗能力，适用于航空航天和核能应用碳化硅的机械和化学稳定性是其在极端环境应用中的关键优势其接近金刚石的硬度不仅使SiC成为优秀的磨料，同时也带来了器件加工的挑战碳硅共价键的强度使SiC具有极高的化学稳定性，对绝大多数化学试剂不起反应，仅在熔融碱和部分氟化物中才会被缓慢腐蚀的热学特性SiC高热导率高熔点

14.9W/cm·K，是硅的3倍以上约2700℃，远高于硅的1414℃高功率密度低热膨胀系数支持功率密度超过200W/cm²的器件设计约

4.0×10⁻⁶/K，保证结构稳定性碳化硅卓越的热学特性是其在高功率电子领域脱颖而出的关键因素其高热导率（

4.9W/cm·K）使热量能够迅速从器件通道区域传导到封装外部，有效解决高功率器件的散热难题这种优异的导热性能允许SiC器件在相同面积下承载更高的功率密度，或在相同功率下使用更小的芯片面积和散热器的缺陷与晶格结构SiC典型缺陷类型缺陷形成机理•微管缺陷贯穿型空洞缺陷，影响漏电流SiC晶体的多型体特性使其在生长过程中容易形成各类缺陷4H-SiC晶体中的碳硅原子沿c轴方向按ABCB序列堆垛，生长过程中的温度波动、杂质•基底位错影响器件区域漏电流扰动可能导致堆垛序列变化，形成缺陷•三角缺陷影响表面平整度•多晶包含体降低单晶质量这些缺陷会导致禁带中出现能级，影响器件性能和可靠性，是制约SiC产业发展的主要技术瓶颈之一•堆垛层错影响电子迁移率第三部分材料与制备工艺SiC原料合成单晶生长高纯硅粉和碳粉按一定比例混合，通过高温反应形以PVT法（物理气相传输）为主，温度2000°C以成SiC粉末上，生长速率约

0.5mm/h外延生长晶片加工以CVD法（化学气相沉积）为主，在衬底上生长高晶体切割、研磨、抛光，形成高质量晶圆表面纯外延层碳化硅材料的制备是一项极具挑战性的工程，涉及多个精密控制环节从原料合成开始，需要严格控制碳硅比例和杂质含量单晶生长采用改良Lely法（PVT法），在超高温环境下使SiC粉末升华，然后在温度略低的籽晶上沉积形成单晶这一过程需要精确控制温度梯度、压力和气相成分法制备单晶简述PVT SiC原料准备高纯SiC粉末作为源料，纯度

99.999%，颗粒尺寸控制在50-200μm炉体组装将源料、籽晶装入石墨坩埚，精确控制间距和定位，真空密封高温升华温度升至2000-2300°C，源料升华形成Si、Si₂C、SiC₂等气态分子晶体沉积气态分子在温度较低的籽晶表面沉积，形成SiC单晶物理气相传输法（PVT）是目前SiC单晶生长的主流技术其核心是在超高温条件下利用源区与籽晶间的温度梯度（通常为20-40°C/cm），驱动SiC源料升华后沿温度梯度方向迁移并在籽晶上重新结晶整个生长过程在惰性气体氩气或氮气环境中进行，压力控制在数十到数百mbar外延片制造工艺SiC衬底处理SiC晶片经CMP抛光，表面粗糙度控制在

0.1nm以内，清洗去除污染物，表面进行活化处理以改善外延层结晶质量生长CVD在1500-1600°C温度下，使用硅烷SiH₄和丙烷C₃H₈等前驱体气体，在氢气H₂载气中进行化学气相沉积通过控制气流比例精确调节碳硅比，避免多型体形成掺杂控制使用氮气N₂进行n型掺杂，铝Al或硼B气体进行p型掺杂，浓度范围可从10¹⁵到10¹⁹/cm³精确控制外延层厚度可从几微米到几十微米不等，取决于器件需求SiC外延生长是制备高质量器件有源区的关键工艺与硅相比，SiC外延过程需要更高温度和更精确的参数控制衬底的表面状态直接影响外延质量，因此需要精细的表面处理CVD过程中，反应室采用石英或SiC材质，加热方式多为射频感应或电阻加热晶圆切割与抛光SiC切割技术抛光工艺由于SiC的超高硬度（莫氏硬度

9.3），传统硅切割方法难以应用目前主SiC晶圆抛光是实现高质量表面的关键步骤，主要包括要采用两种方法

1.机械研磨使用金刚石砂轮进行粗研磨，去除切割痕迹

1.金刚石线锯切割使用直径约

0.1mm的金刚石线，切割精度可达±5μm

2.化学机械抛光CMP结合化学试剂和机械力，实现表面粗糙度

2.激光辅助切割先用激光弱化晶体结构，再进行机械切割，提高效率Ra

0.5nm

3.等离子体抛光去除表面应力层，提高晶格完整性SiC晶圆的切割与抛光工艺远比硅复杂，设备投入和工艺成本也显著高于硅在切割过程中，需要特别关注晶圆边缘质量，避免微裂纹的产生抛光过程通常分为多个阶段，从粗抛到精抛，每个阶段使用不同粒度的抛光材料晶圆清洗与检测洁净度要求表面质量检测晶格质量检测SiC晶圆加工在10-100级洁净室进行，颗粒污染采用原子力显微镜AFM测量表面粗糙度，标准使用高分辨X射线衍射HRXRD测量晶格完整控制在

0.1μm以下采用改良RCA清洗流程，结值Ra

0.5nm使用差分干涉显微镜DIC检测表性，衍射峰半高宽FWHM值是关键指标采用合超声波、高压水射流等技术，去除表面金属面形貌，全自动缺陷检测系统捕捉微小表面缺光致发光PL和阴极发光CL技术评估材料纯度离子、有机物和颗粒污染陷表面平整度通常要求±

0.5μm和缺陷类型，提供缺陷图谱分布晶圆清洗与检测是确保SiC器件高良率的关键环节由于SiC器件对表面和晶格质量极为敏感，需要比硅更严格的清洗和检测标准清洗过程通常在超纯水系统支持下进行，水电阻率18MΩ·cm，金属离子浓度1ppt外延片缺陷管理SiC微管缺陷个/cm²基底位错个/cm²第四部分功率器件基础SiC肖特基二极管SiC SiC MOSFET零反向恢复时间，高频低损耗主流产品，高耐压低导通电阻2SiC BJTSiC JFET高温性能优异，驱动复杂无栅氧化层，可靠性高碳化硅功率器件是电力电子系统的核心组件，凭借其优异的宽禁带特性，能够在高温、高压、高频环境下高效工作目前，市场上主流的SiC功率器件包括肖特基二极管SBD、金属-氧化物-半导体场效应晶体管MOSFET、结型场效应晶体管JFET和双极晶体管BJT等肖特基二极管（）原理与特性SiC SBD零反向恢复作为多数载流子器件，几乎不存在少数载流子储存效应，反向恢复时间仅约10ns，是硅PN结二极管的1/10，极大降低了开关损耗高温工作能力宽禁带使反向漏电流随温度增加缓慢，175℃时仍保持良好性能，远超硅器件125℃极限高耐压特性基于SiC高击穿场强，单个器件耐压可达1200V甚至1700V，同时保持低正向压降VF约

1.35-

1.5VSiC肖特基二极管是最早商业化的SiC功率器件，其核心结构是金属与SiC半导体形成的肖特基结由于SiC的宽禁带特性，使得肖特基接触的势垒高度可以维持在更高水平，保证了低漏电流和高耐压能力现代SiC SBD通常采用MPSMerged PiNSchottky结构，通过在肖特基接触区域嵌入小区域的PN结，进一步提高耐压性能基本结构SiC MOSFET基本结构特点关键工艺挑战SiC MOSFET采用4H-SiC作为衬底材料，主要有两种结构平面型和沟槽SiC MOSFET制造面临几个独特挑战型平面型是当前商用主流，结构包括•栅氧化层质量SiC氧化过程中碳原子处理复杂•N+源极和P体区形成沟道•沟道迁移率界面态密度高导致迁移率低•氧化栅通常为SiO₂，厚度约50nm•P型区域形成SiC中P型掺杂激活能高•N型漂移区决定耐压特性•欧姆接触需要特殊金属化工艺•N+衬底提供低电阻通路SiC MOSFET的核心优势在于其能够结合SiC材料的宽禁带特性与MOSFET易于驱动的特点与传统硅MOSFET相比，SiC MOSFET的N型漂移区可设计得更薄，掺杂浓度更高，从而实现相同耐压下显著降低的导通电阻典型的1200V SiC MOSFET比同等硅器件的导通电阻低10倍以上和工艺SiC JFETBJT特性优势SiC JFETSiC BJT结型场效应晶体管JFET无栅氧化层，避免双极型晶体管BJT完全避开了栅氧化问了MOS界面可靠性问题SiC JFET具有极低题，高温性能优异，可在250℃以上稳定工的导通电阻RDSon，通常为同等MOSFET的作同时电流增益随温度上升而提高，适合60-70%但大多数设计为常开型normally-高温应用但需要持续提供基极电流，驱动on，需要额外驱动电路，安全性存在隐患损耗较大，且存在二次击穿风险工艺难点JFET的关键工艺在于精确控制沟道宽度，通常需要亚微米级精度BJT则面临β增益下降问题，需要特殊工艺抑制表面复合两种器件都需要优化欧姆接触和终端保护结构，以实现高性能和高可靠性尽管MOSFET是当前SiC商业器件的主流，但JFET和BJT在特定应用中仍具独特优势特别是在高温、高辐射环境下，无氧化层结构的JFET和BJT可提供更高的可靠性近年来，级联结构CascodeJFET解决了常开型的问题，将JFET的低导通电阻与常闭特性结合起来与对比SiC MOSFET Si MOSFETSiC MOSFETSiMOSFET第五部分器件生产关键工艺SiC离子注入使用高能离子形成P型区域和N+源极区域，温度、剂量精确控制高温退火1600-1800℃活化掺杂剂，使用特殊碳帽保护表面栅氧化与退火优化MOS界面特性，提高沟道迁移率金属化与互联形成良好的欧姆接触和肖特基接触晶圆划片与封装高硬度材料特殊切割工艺，热管理优化封装SiC器件生产涉及多项关键工艺，这些工艺的精确控制直接决定了器件性能和良率由于SiC的特殊物理特性，许多传统硅工艺需要重新优化甚至革新离子注入是形成PN结的主要方法，但SiC中的离子射程短、扩散系数小，需要更高能量和多次注入离子注入设备与控制要点℃⁴800keV

1.5×10¹300注入能量上限典型注入剂量热注入温度远高于硅工艺典型值40-80keV单位离子/cm²，控制精度±3%减少表面非晶化，提高激活率≤

0.5°倾角精度避免沟道效应，确保均匀性离子注入是SiC器件制造中形成PN结和局部掺杂区域的核心工艺由于SiC的高密度晶格结构，离子在SiC中的射程仅为硅中的1/3左右，因此需要更高能量的注入设备业界常用的SiC专用离子注入机能够提供高达800keV的注入能量，并支持热注入功能，可在300℃以上的温度下进行注入，减少晶格损伤退火工艺技术超高温退火碳帽保护1600-1800℃，活化离子注入的掺杂剂石墨或碳膜覆盖，防止硅升华栅氧后退火氮气氩气环境/氮气/氢气/NO气氛，优化界面态防止氧化和杂质引入退火工艺是SiC器件制造中最具挑战性的环节之一由于SiC中掺杂剂的高激活能，需要1600-1800℃的超高温才能有效激活掺杂剂，特别是P型掺杂的铝或硼这种温度远高于硅工艺中的退火温度通常1100℃，对设备材料和工艺控制提出极高要求金属化和接触特性型欧姆接触N镍基合金Ni/Ti/Au，退火温度950-1050℃，接触电阻≤1×10⁻⁵Ω·cm²型欧姆接触P铝基合金Al/Ti/Au，退火温度800-900℃，接触电阻≤1×10⁻⁴Ω·cm²肖特基接触钛、镍或钨，精确控制势垒高度，漏电流密度10⁻⁶A/cm²@600V多层金属互联应力优化设计，提高高温可靠性，使用Ti/TiN/Al/TiN多层结构金属化和接触形成是SiC器件性能的关键决定因素由于SiC的宽禁带特性，形成良好的欧姆接触比硅更具挑战性，特别是对P型SiC区域N型SiC欧姆接触通常采用镍基合金，通过高温退火形成镍硅化物Ni₂Si，降低接触电阻P型接触则以铝基合金为主，退火温度稍低，但接触电阻通常高于N型晶圆划片与封装挑战切割技术挑战封装特殊性SiC的高硬度和脆性使传统硅划片工艺难以应用当前采用多种技术克服SiC器件封装面临几个独特问题这一挑战•热膨胀系数匹配SiC

4.0×10⁻⁶/K与铜

16.5×10⁻⁶/K差异大

1.金刚石锯片切割使用超细金刚石锯片，切割速度缓慢（约5-•高温焊接传统锡基焊料不适合高温应用，需使用银烧结10mm/s）•热阻优化充分发挥SiC高温能力，需最小化封装热阻

2.激光辅助切割激光预处理后进行机械切割，提高效率•高频低电感SiC高频特性要求最小化封装寄生电感

3.水射流切割高压水混合磨料进行无热切割，减少边缘损伤SiC器件从晶圆划分到封装测试的整个后道工艺环节，都需要针对其材料特性和应用需求进行优化划片过程要特别注意边缘质量控制，避免微裂纹的产生，通常需要比硅更宽的划片道（scribe lane）主流封装形式介绍封装TO-247最常见的SiC分立器件封装形式，有3脚和4脚两种版本4脚版本（TO-247-4）增加了独立的凯尔文源极连接，大幅降低驱动回路寄生电感，适合600-1700V器件散热性能好，额定电流可达100A，但寄生电感较高，限制开关速度封装SMDD²PAK、TOLL等表面贴装封装，适合低功率SiC器件，寄生电感小，适合高频应用热阻相对较高，通常用于50A以下的器件近年来推出的底部冷却型SMD封装（如TOLL-HV）显著改善了散热性能，成为中功率应用的理想选择功率模块用于高功率应用的多芯片封装，如半桥、全桥模块先进设计采用平面互联、低感直接键合铜（DBC）基板和银烧结工艺，最大限度降低寄生参数新型SiC模块已实现超低热阻（

0.15℃/W）和超低寄生电感（10nH）封装技术是连接SiC裸芯片与应用环境的重要桥梁，适当的封装选择对充分发挥SiC器件性能至关重要传统封装（如TO-247）凭借成熟工艺和可靠性仍占据主导地位，特别适合中功率分立器件应用新型高频低电感封装（如D²PAK-7）则为高频DC-DC转换器等应用提供优化性能封装可靠性测试高温存储HTS175℃环境下1000小时，测试器件参数漂移，评估长期稳定性温度循环TC-55℃到175℃，1000次循环，评估封装热膨胀匹配性高温高湿THB85℃/85%RH条件下1000小时，测试封装密封性能功率循环PC器件通过大电流加热再冷却，评估键合线、焊料寿命栅压稳定性阈值电压漂移测试，评估栅氧界面可靠性SiC器件封装可靠性测试是确保产品长期可靠工作的关键环节由于SiC器件通常应用于高温、高压、高频的苛刻环境，其可靠性测试标准通常比传统硅器件更为严格高温存储测试温度从硅器件的150℃提高到175℃甚至200℃，温度循环范围更宽，循环次数更多第六部分在电源及电力电子应用SiC碳化硅功率器件正在电力电子系统中掀起一场静默革命在新能源汽车领域，SiC MOSFET/IGBT混合模块的渗透率持续提升，特别是在高端车型和800V高压平台中，SiC已成为标配相比传统硅器件，SiC逆变器可将功率损耗降低40%以上，实现更长续航里程新能源汽车应用案例SiC特斯拉比亚迪刀片电池车载充电器Model3OBC首款大规模采用SiC采用自研SiC器件的电驱系多家车企在OBC中采用SiCMOSFET的车型，主驱动逆统，实现800V高压平台，器件，功率密度从

2.5kW/L变器使用24颗1200V/40A快充速度提升40%，温升降提升至5kW/L以上，重量减SiCMOSFET，相比硅IGBT低15℃，系统集成度提高轻40%，充电效率达97%方案效率提升约3个百分30%点，续航里程增加5-8%新能源汽车是SiC器件最具爆发力的应用领域特斯拉Model3是SiC在电动车领域的里程碑，其逆变器采用STMicroelectronics的SiCMOSFET，开启了汽车电驱系统的SiC时代随后，奔驰EQS、保时捷Taycan等高端车型相继采用SiC技术，将效率推向新高度在充电桩系统中的应用SiCSiC方案Si方案光伏逆变器与储能系统组串式逆变器中央逆变器储能变流器采用SiCMOSFET和SiC SBD，开关频率从16kHz提升大功率中央逆变器1MW采用SiC模块，单机容量双向DC-DC变换器和逆变器采用SiC器件，支持更至60kHz，效率达99%以上，实现轻量化和小型突破3MW，系统效率提升

1.5个百分点，直接减少高充放电速率，转换效率达

98.5%SiC器件的高温化SiC器件的温度稳定性大幅减少高温降额，使发电损失约25%高开关频率降低了谐波滤波器需性能减少了热管理需求，延长了系统使用寿命，逆变器在50℃环境中仍能输出额定功率求，系统体积减小约35%特别适合大规模集装箱储能系统光伏发电和储能系统是SiC技术创造显著价值的重要领域在光伏逆变器中，SiC器件实现了局部高频化设计，大幅提升了能源转换效率以典型的100kW组串式逆变器为例，采用SiC方案后，全负荷效率从

98.2%提高到

99.0%，看似微小的

0.8%效率提升，在25年运行周期中可额外发电约50MWh，创造可观的经济价值工业变频电源变换应用案例/℃35%60%25系统体积减小开关损耗降低最大结温降低高集成度，更小的散热器尺寸更高的开关频率，更低的热损耗更可靠的系统运行，更长的使用寿命20%维护成本降低更少的故障率，更低的运营成本在工业变频与电力变换领域，SiC技术正在创造新的价值标准高压直流输电HVDC系统采用SiC器件后，传输效率显著提升，系统体积减小约35%，主要得益于SiC器件优异的高压性能和低开关损耗SiC器件在10kV以上电压等级的突破，为未来特高压直流输电提供了新选择在通信与服务器电源SiC5G通信基站电源5G基站电源采用SiC器件后，效率从94%提升至97%以上，显著降低散热需求和能耗同时功率密度提高约40%，适应小型化基站的安装需求先进的SiC PFC（功率因数校正）电路简化了系统设计，提高了系统可靠性数据中心服务器电源服务器电源采用SiC器件后，峰值效率达到98%以上，全负荷范围内保持高效率在48V/12V架构中，SiC基础的DC-DC转换器可实现更高开关频率500kHz，减小无源元件尺寸，提高功率密度，为高密度计算提供支持浪涌保护与电源管理SiC器件优异的浪涌抑制能力和可靠性使其成为通信设备电源保护的理想选择SiC SBD在浪涌保护电路中具有更低的正向压降和几乎零的反向恢复，可有效保护敏感电子设备免受电网波动影响随着5G通信和数据中心的快速发展，电源系统面临更高的效率和功率密度要求，SiC技术正在这一领域展现独特价值5G基站比4G功耗高3-4倍，传统硅基电源难以满足散热和空间限制，而SiC电源凭借高效率特性成为理想解决方案部分领先的5G设备制造商已将SiC基站电源作为标准配置国防、航天与高端装备应用航天电源系统太阳能阵列调节器和电池充电系统采用SiC器件，效率提升2-3%，重量减轻40%，极大提高卫星有效载荷比例雷达功率模块新一代相控阵雷达采用SiC器件，频率提升至X波段，功率密度提高3倍，探测距离延长约40%航空电力系统SiC器件在飞机电力系统中应用，支持更高度电气化设计，减轻燃油系统负担，提高燃油效率耐辐射应用SiC固有的耐辐射特性使其成为核电站和空间环境的理想选择，减少屏蔽需求，延长设备寿命国防航天领域是SiC技术的重要应用场景，也是最早开始研究SiC器件的领域之一在航天器电源系统中，SiC器件不仅提供了更高的效率，还具备更强的辐射抗性，可在太空高辐射环境中长期稳定工作美国、中国、欧洲的多个航天项目已开始采用SiC电源模块，包括探月工程和火星探测任务医疗电子与新兴场景医疗成像设备新兴应用场景CT扫描仪高压电源采用SiC器件后，体积减小约25%，重量减轻30%，精度海洋勘探设备在深海高压环境中采用SiC电子系统，可靠性显著提高，工提高15%这一改进使设备更加紧凑，同时提高了图像质量SiC器件的作温度范围扩大低噪声特性减少了电气干扰，进一步提升了成像清晰度地热开发和油井钻探设备在高温环境200℃下采用SiC电子系统，取代高端超声诊断仪的功率模块采用SiC技术后，效率提升，热量减少，使设传统冷却系统，简化设备设计，提高可靠性备可长时间连续工作而不降低性能，特别适合便携式设备应用高端音响功放采用SiC器件后，失真度降低，动态响应提升，为发烧级音响提供更纯净的声音重现医疗电子是SiC技术的重要应用方向之一，其高可靠性和低噪声特性特别适合精密医疗设备在大型医疗设备如质子治疗系统中，SiC功率变换器提供了稳定精确的能量控制，提高了治疗精度和患者安全性移动医疗设备如便携式X射线机采用SiC技术后，体积缩小40%以上，同时提高了电池续航时间，极大提升了野外和应急医疗能力第七部分前沿技术与研发动态SiC下一代材料与器件8英寸晶圆良率提升，高电压10kV器件研发工艺与制造优化MOSFET沟道移动率提升，栅极界面改进成本优化创新生长速率提高，大尺寸晶圆导入，缺陷控制技术突破碳化硅技术正处于快速发展阶段，前沿研发主要集中在三个方向首先，材料与器件创新层面，晶圆尺寸正从现有的6英寸向8英寸甚至更大尺寸发展，良率提升是关键挑战研究人员在探索新型晶体生长方法，如连续进料PVT和溶液法生长，以提高生长速率和晶体质量器件方面，超高压10kVSiC器件研发取得重要进展，为电网和轨道交通提供新可能全球重大研发突破SiC年2022日本ROHM实现6英寸SiC外延良率超过98%，为汽车级器件提供基础年2023美国Wolfspeed在北卡罗来纳州Siler City建成全球最大SiC晶圆厂，投资50亿美元年2024Wolfspeed8英寸SiC晶圆实现商业化量产，单片晶圆可生产三倍于6英寸的芯片数量年2024三安集成自主研发的8英寸SiC衬底通过验证，微管缺陷密度1cm⁻²近年来，全球范围内SiC技术研发取得多项重大突破美国Wolfspeed作为行业领导者，其8英寸SiC晶圆商业化是重要里程碑，不仅将单片晶圆产出提高约

2.7倍，还通过规模效应降低成本该公司投资50亿美元建设的新晶圆厂计划到2025年实现20万片/月的产能，将极大缓解全球SiC材料供应紧张状况中国自主创新进展SiC中国SiC产业近年来取得了令人瞩目的自主创新成果在湖南株洲，中国首个垂直整合的SiC产业化基地已经投产，涵盖了从衬底材料到器件封装的完整产业链天岳先进在上海临港投资百亿元建设的SiC项目已部分投产，年产能将达到30万片，制程水平与国际先进水平接轨与的比较SiC GaN性能指标SiC GaN禁带宽度eV

3.

33.4击穿电场MV/cm

2.

53.3电子迁移率cm²/V·s9002000热导率W/cm·K

4.

91.3最佳应用电压650V-

3.3kV40-650V最佳频率范围10-100kHz100kHz-10MHz作为两种主要的第三代半导体材料，SiC与GaN各有所长，在应用领域形成了良性互补SiC凭借其高热导率和成熟的垂直器件工艺，在高压大功率应用中占据优势典型应用电压范围在650V-

3.3kV，特别适合新能源汽车、高压输配电等场景SiC器件的工艺成熟度高，可靠性数据积累丰富，更容易获得汽车等高可靠性领域的认可产业链面临的痛点SiC高成本挑战产能受限6英寸SiC晶圆价格约1500-2000美元，是同等硅晶圆的15-20倍全球SiC衬底产能仍严重不足，交付周期长达6-9个月设备依赖人才缺口高温生长炉、离子注入机等核心设备严重依赖进口SiC专业人才稀缺，技术积累不足尽管SiC产业发展迅速，但仍面临多项严峻挑战首当其冲的是成本问题，SiC晶圆价格高昂，直接影响下游器件成本，限制了大规模应用成本高企的主要原因包括生长速率慢（约

0.25-

0.5mm/h，仅为硅的1/10）、良率偏低、设备投入大据统计，SiC器件当前售价约为硅器件的3-5倍，需要在系统层面提供足够价值才能获得市场认可碳化硅未来发展趋势SiC市场规模亿美元市场占比%对可持续发展的推动SiC

3.6%15%

1.5%30%电动车续航提升充电时间缩短光伏发电效率提升功率系统体积减小相比硅基解决方案高效率高功率充电系统转换效率提高材料使用减少，资源节约碳化硅技术对全球可持续发展目标贡献显著，尤其在碳中和战略中扮演重要角色在交通电气化领域，SiC逆变器可使电动车能耗降低约3-5%，全球范围内每年可减少数百万吨碳排放在能源生产领域，SiC技术提高了光伏逆变器效率，仅

0.5%的效率提升，在全球光伏装机量下就能显著增加清洁能源产出安全生产与环保合规生产安全要求废气处理1高温晶体生长安全防护，气体泄漏监测系统含硅烷、丙烷等有机气体的处理技术废弃物回收废水管理SiC粉末、靶材等资源的循环利用技术研磨抛光废水的过滤、循环和达标排放随着SiC产业规模扩大，安全生产与环保合规日益受到重视SiC晶圆生产环境要求极为严苛，洁净度通常需达到10-100级，关键工序需在氮气或氩气保护环境中进行晶体生长过程中的超高温（2000℃以上）带来明显安全风险，需采用多重安全保障措施，包括远程监控、自动停机、应急冷却等系统碳化硅培训学习资源推荐/企业培训项目学术资源在线平台Wolfspeed学院、Infineon SiCIEEE ISPSD会议论文集、EDN电子技术设计网SiC专栏、在线课程、安森美技术研讨《宽禁带半导体材料与器件》半导体行业观察等平台提供会等提供系统化专业培训，专著、中国科学院半导体研丰富的学习材料和行业动态，涵盖从基础到应用的全方位究所公开课等学术资源深入适合自学提高知识探讨前沿技术持续学习是把握SiC技术发展的关键国内外知名厂商提供了丰富的培训资源，Wolfspeed学院Wolfspeed Academy提供从入门到专家级的系列课程，涵盖材料、器件和应用设计；安森美半导体定期举办技术研讨会，分享SiC实际应用经验；国内企业如三安集成也开设了专业培训课程，培养本土SiC人才行业发展典型案例的成功转型三安集成的国产化路径WolfspeedWolfspeed（原Cree公司）的SiC发展历程是行业标杆该公司从LED制造三安集成是中国SiC产业从跟随到并跑的典型代表公司通过产学研用商成功转型为SiC领域的全球领导者，实现了从0到1的创新突破通过协同创新模式，系统攻克了SiC晶体生长、器件设计等关键技术，建立了持续研发投入和战略转型，公司先后突破了SiC晶体生长、外延和器件制完整的自主知识产权体系造的核心技术，建立了从材料到器件的垂直整合优势在福建泉州建立的SiC垂直整合产线，将产能规划提升至30万片/年，采用其Mohawk Valley工厂是全球首个完全自动化的8英寸SiC晶圆厂，通过规自主设计的生产设备，有效降低了资本开支和制造成本其车规级SiC器模化生产将SiC晶圆成本降低约30%，为产业化奠定基础该案例展示了件已进入国内外主流汽车供应链，打破了国际垄断该案例展示了本土前瞻性战略和持续创新的重要性企业通过技术创新和市场定位实现弯道超车的可能性这些典型案例展示了SiC企业的不同发展路径和成功经验产线优化是各企业的共同重点，通过导入自动化生产线、优化工艺流程和提高良率，实现单位产出成本的持续下降Infineon通过改进SiC晶圆薄片化工艺，成功将晶圆厚度从350μm减少到175μm，大幅提高了材料利用率总结与展望从实验室到产业化SiC已完成从实验室技术到大规模产业化的跨越驱动产业变革2推动新能源汽车、可再生能源等领域技术革新未来光明挑战并存市场潜力巨大，同时面临成本和技术挑战本次培训全面介绍了碳化硅从基础物理特性到产业发展现状的系统知识作为第三代半导体的代表，SiC凭借宽禁带、高击穿场强、高热导率等优异特性，在高温、高压、高频应用中展现出独特优势通过材料制备、器件设计与应用创新的协同发展，SiC产业已形成完整产业链，市场规模快速增长。