《洁净室用净化单元自控系统》

洁净室用净化单元自控系统1范围本文件规定了洁净室用净化单元自控系统的缩略语、系统组成、功能要求、性能要求、安全要求、安装、调试与验收、运行与维护本文件适用于洁净室用净化单元自控系统2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中，注日期的引用文件,仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件GB/T4208外壳防护等级（IP代码）GB50052供配电系统设计规范（附条文说明）3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义4缩略语下列缩略语适用于本文件PLC可编程逻辑控制器（Programmable LogicController）DDC直接数字控制器（Direct DigitalController）HMI人机界面（Human MachineInterface）5系统组成

5.1硬件

5.

1.1传感器应根据洁净室环境参数监测需求，合理配置温度传感器、湿度传感器、压差传感器、尘埃粒子计数器、风量传感器等

5.

1.2控制器支持PLC或DDC控制，接收感知层数据，依据预设控制策略分析处理，输出控制指令，实现对空调机组、风机、阀门等设备自动控制

5.

1.3执行机构依据控制指令对洁净室的风量、温湿度等关键参数进行精准调节包含变频风机、电动调节阀、加湿器、除湿机等设备

5.

1.4人机界面（HMD提供可视化操作界面，实时显示数据与报警信息

5.2软件

5.

2.1控制软件应具备完善的控制算法，根据传感器检测到的环境参数，自动调节执行器的动作

5.

2.2监控软件应实时采集和显示洁净室环境参数、设备运行状态等信息；并具备报警功能，当洁净室环境参数超出预设范围或设备发生故障时，能够及时发出声光报警信号6功能要求6’实时监控自控系统应能实时采集和显示洁净室的环境参数，包括温度、湿度、压差、粒子浓度等，并能以直观的方式展示系统中各设备的运行状态A二自动调节自控系统应能根据设定的环境参数目标值自动调节净化单元中相关设备的运行状态，使洁净室环境参数保持在规定的范围内65报警当洁净室环境参数超出设定的允许范围或系统中设备出现故障时丁自控系统应能及时发出报警信号6d数据存储与管理

6.

4.1自控系统应能对采集到的环境参数和设备运行数据进行存储，存储时间应满足相关法规和用户的要求

6.

4.2系统应具备数据查询、统计分析、报表生成等功能，以便用户对历史数据进行回顾和分析A，远程控制应能实现远程控制，用户可通过互联网或局域网，在授权的情况下，远程对净化单元进行启停控制、参数设置、设备状态查询等操作7性能要求7控制精度

7.

1.1温度控制精度温度控制精度应达到±

0.5°C

7.

1.2湿度控制精度湿度控制精度应达到±3%RH

7.

1.3压差控制精度洁净室不同区域之间的压差控制精度应达到±10Pao

7.

1.4粒子浓度控制精度应控制粒子浓度在规定的范围内

20.5um粒子浓度应不超过352000个/n）3,25um粒子浓度应不超过2930个/op71响应时间当洁净室环境参数发生变化或系统接收到控制指令时，自控系统应能迅速做出响应具体如下a）温度、湿度调节的响应时间＜15min；b）压差调节的响应时间W5min；c）设备启停控制的响应时间mine

7.

1.55可靠性

7.

3.1通信现场设备层与控制层之间、控制层与管理层之间的通信应稳定可靠在通信中断或出现故障时，系统应能及时检测并采取相应的措施，如自动重连、报警等，确保系统的正常运行

7.

3.2数据存储应采用可靠的数据存储设备和备份策略，如硬盘阵列、数据备份软件等，定期对数据进行备份，防止数据因硬件故障、软件错误、人为误操作等原因丢失

7.

3.3平均无故障时间（MTBF）净化单元自控系统的平均无故障时间应不低于5000ho8安全要求设备外壳防护系统中的电气设备外壳防护等级应符合GB/T4208的相关规定，防止人员触电和外物侵入83电气安全自控系统的电气设计应符合GB50052及相关标准的规定，应具备完善的接地保护措施，接地电阻应符合相关标准要求，一般不超过4QoR5软件安全

8.

3.1用户权限管理监控软件应具备严格的用户权限管理功能，根据用户的职责和需求，设置不同的操作权限，如管理员权限、操作员权限、只读权限等

8.

3.2数据加密对于系统中存储的重要数据，应采用加密技术进行保护，防止数据被窃取或篡改数据加密算法应符合相关的安全标准要求9安装、调试与验收

9.1安装

9.

1.1环境准备确认洁净室结构、风管、水电等基础设施已完成并验收合格

9.

1.2设备安装设备安装应至少符合以下要求a）温湿度、压差、粒子计数器等传感器安装位置需具有代表性，避开气流死角；b）PLC/DCS控制器、人机界面（HMI）等设备需防静电、防尘，柜体接地符合电气规范；c）变频风机、电动调节阀等执行机构的安装应严格按照设计图纸和设备安装说明书进行；d）信号线与电源线分开敷设，避免干扰；气动管路需密封无泄漏

9.

1.3合规性检查核对设备型号、参数与设计文件一致性，确保符合洁净室等级要求

9.

1.

49.

2.1调试前应制定详细的调试方案，明确调试的目的、内容、方法和步骤

9.

2.2调试过程中应按照调试方案的要求，对自控系统的各个部分进行逐一调试

9.

2.3调试过程中应记录调试数据和结果，对发现的问题应及时进行分析和处理调试完成后，应编写调试报告

9.

2.4R验收

9.

3.1验收前应提交自控系统的设计文件、施工图纸、调试报告、设备清单、产品合格证等相关资料

9.

3.2验收应按照本文件和合同要求进行，对系统的功能、性能、安装质量等进行全面检查和测试

9.

3.3验收过程中应形成验收记录，验收合格后，应出具验收报告10运行与维护10-运行管理

10.

1.1操作规程制定使用单位应根据系统的特点和实际运行需求，制定详细的操作规程，操作规程包括系统的启动、停止操作步骤，参数设置方法，设备维护要求，常见故障处理方法等

10.

1.2人员培训使用单位应对系统操作人员和维护人员进行培训，培训内容包括理论培训和实际操作培训，培训合格后方可上岗操作

10.

1.3运行记录系统运行过程中，应做好运行记录，记录内容包括系统的运行状态、环境参数、设备启停时间、报警信息等

10.；日常维护

10.

2.1应制定系统的运行维护管理制度，落实专项维护资金，配备专职系统管理人员

10.

2.2应制定巡检计划，对系统运行环境进行检查保养，并做好巡检记录,巡检频率不低于每周1次

10.

2.3应对日常维护文档进行分析，定期形成维护工作报告105故障处理系统出现故障时，应迅速进行故障诊断，确定故障的原因和范围，并根据故障诊断结果，应采取有效的故障修复措施，恢复系统的正常运行《洁净室用净化单元自控系统》编制说明

一、工作简况

（一）任务来源根据2020年全国标准化工作要点，大力推动实施标准化战略，持续深化标准化工作改革，加强标准体系建设，提升引领高质量发展的能力为响应市场需求，需要制定完善的洁净室用净化单元自控系统标准依据《中华人民共和国标准化法》，以及《团体标准管理规定》相关规定，中国商品学会决定立项并联合江苏捷顺机电设备有限公司等相关单位共同制定《洁净室用净化单元自控系统》团体标准

（二）编制背景及目的洁净室用净化单元自控系统是指用于控制和调节洁净室内环境参数的系统随着我国电子信息、生物医药、精密制造等高新技术产业的快速发展，洁净室作为关键生产环境，其重要性日益凸显净化单元作为洁净室的核心设备，其自控系统直接关系到洁净室的运行效率、能耗水平和产品质量目前，国内洁净室用净化单元自控系统缺乏统一的标准规范，导致市场产品良莠不齐，系统兼容性差，运维成本高，难以满足产业高质量发展的需求制定洁净室用净化单元自控系统团体标准，具有规范市场秩序，促进产业健康发展的重要意义我国尚未有针对洁净室用净化单元自控系统的国家标准、行业标准为适应市场发展的需要，推动行业的规范性建设，营造良好的市场环境，特提出《工洁净室用净化单元自控系统》团体标准的制定本标准的制定将填补行业内该细分领域的标准空白

（三）编制过程2025年03月，完成《工洁净室用净化单元自控系统》的立项标准立项计划下达后，根据相关文件的要求，明确小组成员工作任务并制定了详细的工作计划2025年03月2025年04月，标准编制组对国内外的相关行业、标准、科〜研成果、专著等开展广泛、深入的调研，在此基础上完成《工洁净室用净化单元自控系统》的草案随后标准制定小组与相关专家经多次研究、讨论对草案进行数次修改，于2025年04月提交《工洁净室用净化单元自控系统》标准征求意见稿

（四）主要起草单位及起草人所做的工作由江苏捷顺机电设备有限公司等相关单位的专家成立的标准制定小组，在广泛调研、查阅和研究国际、国内的现行标准，结合行业现行技术痛点和空白，组织、协调和策划了标准征求意见稿的草拟和修改过程

二、标准编制原则和主要内容

（一）标准制定原则本标准依据相关行业标准，标准编制遵循“前瞻性、实用性、统一性、规范性”的原则，注重标准的可操作性，严格按照GB/T

1.1-2020《标准化工作导则第1部分标准化文件的结构和起草规则》的要求进行编写

（二）标准主要技术内容

1、规范性引用文件列出了本文件引用的其他规范性文件

2、缩略语规定了本文件的缩略语

3、系统组成包括硬件和软件

4、功能要求

5、性能要求

6、安全要求

7、安装、调试与验收

8、运行与维护

（三）标准采用国际标准的程度及水平的简要说明无

（四）重大分歧意见的处理经过和依据无

（五）其他应予说明的事项无《工洁净室用净化单元自控系统》起草组2025年04月15日。